想请教一下板上各位镀膜高手，目前小弟遇上镀膜的问题，一直无法解决，想请各位帮帮
忙！
小弟使用的是蒸镀机台，镀一般教少层数膜层厚度又不多的时候，基本上产品没什么问题
，但是如果镀层数较多，厚度较厚的制程时候，会发生产品周围有一层雾雾的状况，较为
严重是左右两侧，上下则看状况，所以想请教大大是否有碰过此种状况，或者有什么方法
可尝试，感谢！
抱歉，小弟没给其他资讯是小弟的错误
1. 小弟是是使用基板BK7，融石英， SF11等可见光镜片 皆会有此现象。
2. 机台使用电子枪打镀材(坩埚)，配合离子源助镀。
3.镀膜材料，sio2 ta2o5
4.镀长制程前都会pm，所以腔体算是最干净的状态。
5.真空为1.5e -5pa
以上，假设100*120大约周围方形基板，为什么都是周围会这样，但是中间却无此状况，
大约周围1~2mm。