楼主:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 21:10:48各位大大好，想请问一下
-全氟化的O-ring使用普遍性高吗?
-一般不是用Viton的就够用了? 怎样环境会用到全氟化?
-半导体制程? 面板厂? PCB?
印象中认识的设备工程师朋友几乎都用Viton居多
所以想了解在什么地方用全氟化的才多?
如果有大大比较了解愿意指导一下的，愿奉上500P(税前)作为感谢
感谢协助~~
作者: reckson1017 (GOD) 2017-05-31 21:19:00
严苛的溶剂 thf tol
作者: sianous (sianous) 2017-05-31 21:41:00
TMAH, NMP
可以上网google啊，Viton只耐酸而已但不是所有酸都能用viton
作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2017-05-31 21:57:00
Viton连甲醇都不耐，对很多溶剂都不行。
全弗在面板厂是用来抗高温CH动辄200~300度，没全氟容易leak降低良率，需要降温更换
楼主:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 22:31:00请问CH是...？
楼主:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 22:43:00感谢
作者: yellowred200 (Mr.Roger) 2017-05-31 23:06:00
其实生产化学品的工厂，或是会蚀刻的产业都需要
作者:
amos0827 (我爱大OO)
2017-06-01 00:30:00防被电镀
作者: f33783378 (小灰狼) 2017-06-01 06:36:00
生产这些溶剂的工厂啊
作者:
sc1 (sc1)
2017-06-01 09:33:00采购权领导跟厂商喝完酒的环境就会用到全佛化
作者:
benden (20%/y的蜗牛)
2017-06-01 16:38:00去光阻剂也要全氟哦！
干蚀刻chamber 很常用，毕竟温度偏高，还有制程气体plasma很容易把viton Oring吃掉，会有particle defect问题所以会换成全氟化的airing 有误再请板上前辈纠正
楼主:
turn329 (小肉包)
2017-06-02 00:01:00感谢各位大大指导，我晚点奉上些微P币
面板厂大概就跟kuso 讲的差不多Viton 的很容易被制程气体吃掉产生P/T爆量然后设备又要被highlight开chamber保养