[请益] 全氟化O-ring turn329 PTT批踢踢实业坊

[请益] 全氟化O-ring

楼主: turn329 (小肉包) 2017-05-31 21:10:48

各位大大好，想请问一下
-全氟化的O-ring使用普遍性高吗?
-一般不是用Viton的就够用了? 怎样环境会用到全氟化?
-半导体制程? 面板厂? PCB?
印象中认识的设备工程师朋友几乎都用Viton居多
所以想了解在什么地方用全氟化的才多?
如果有大大比较了解愿意指导一下的，愿奉上500P(税前)作为感谢
感谢协助~~

作者: reckson1017 (GOD) 2017-05-31 21:19:00

严苛的溶剂 thf tol

作者: sianous (sianous) 2017-05-31 21:41:00

TMAH, NMP

作者: thumba87295 (阳光肥肥) 2017-05-31 21:42:00

可以上网google啊，Viton只耐酸而已但不是所有酸都能用viton

作者: mart9266 (MART) 2017-05-31 21:47:00

化工厂常用杜邦网站可以查适不适合用

作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2017-05-31 21:57:00

Viton连甲醇都不耐，对很多溶剂都不行。

作者: joe50127 (唯心而论) 2017-05-31 22:13:00

化工厂用于过滤器垫圈

作者: love942cg (AE) 2017-05-31 22:18:00

全弗在面板厂是用来抗高温CH动辄200~300度，没全氟容易leak降低良率，需要降温更换

楼主: turn329 (小肉包) 2017-05-31 22:31:00

请问CH是...？

作者: love942cg (AE) 2017-05-31 22:37:00

Chamber

楼主: turn329 (小肉包) 2017-05-31 22:43:00

感谢

作者: yellowred200 (Mr.Roger) 2017-05-31 23:06:00

其实生产化学品的工厂，或是会蚀刻的产业都需要

作者: amos0827 (我爱大OO) 2017-06-01 00:30:00

防被电镀

作者: osirisobelis (osirisNNN ) 2017-06-01 02:07:00

溶剂厂

作者: WillWaiting (Creep) 2017-06-01 02:17:00

Oring很重要啊查一下那些设备厂都用啥种的

作者: f33783378 (小灰狼) 2017-06-01 06:36:00

生产这些溶剂的工厂啊

作者: sc1 (sc1) 2017-06-01 09:33:00

采购权领导跟厂商喝完酒的环境就会用到全佛化

作者: benden (20%/y的蜗牛) 2017-06-01 16:38:00

去光阻剂也要全氟哦！

作者: kusojoke (syue) 2017-06-01 17:18:00

干蚀刻chamber 很常用，毕竟温度偏高，还有制程气体plasma很容易把viton Oring吃掉，会有particle defect问题所以会换成全氟化的airing 有误再请板上前辈纠正

作者: gn01657736 (gn01657736) 2017-06-01 17:44:00

viton其实很多化学品都不耐

楼主: turn329 (小肉包) 2017-06-02 00:01:00

感谢各位大大指导，我晚点奉上些微P币

作者: frank75623 (老阿北化的七年级生) 2017-06-02 21:00:00

面板厂大概就跟kuso 讲的差不多Viton 的很容易被制程气体吃掉产生P/T爆量然后设备又要被highlight开chamber保养

作者: ArthurDX (亚瑟) 2017-06-03 01:11:00

湿蚀刻、清洗液也都有机会用到全氟o-ring

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