※ 引述《uranuswind (水瓶之风)》之铭言：
: 你待的imp怎么跟我待的不一样？小弟之前在Varian摸imp到去年为止大概有8年经验，从
: 没听过imp爽的。如果只是纯pm，而且是顺利的情况下，大概才会像你说的，这是理想情
: 况喔，很多时候你光是一个rs测不过，你就知道了......imp在真空设备里面算是难的，
: 而且危险度算高的，每个做imp的都觉得很赛.......
RS测不过XD 刚好Varian机台我也略懂一点点
不是先看RS机台有没有漏点有的话去磨针头或换针头吗?
RS机台没问题的话
先看有没有猪PE去改到dose trim
水阻值太低去换离子交换树脂
在不行换A6 A8 A9板
确认wafer cooling有没有问题
以上这些不用动真空
再来就是要动真空测漏
看到source glitch去换source
RS一直往上跑换profiler slit
v-curve确认x-tilt,y-tilt
差不多这几招了啦
你摸Varian有8年请你摸著良心说看看这些很难?