※ 引述《uranuswind (水瓶之风)》之铭言：
: 你待的imp怎么跟我待的不一样？小弟之前在Varian摸imp到去年为止大概有8年经验，从
: 没听过imp爽的。如果只是纯pm，而且是顺利的情况下，大概才会像你说的，这是理想情
: 况喔，很多时候你光是一个rs测不过，你就知道了......imp在真空设备里面算是难的，
: 而且危险度算高的，每个做imp的都觉得很赛.......
RS测不过XD 刚好Varian机台我也略懂一点点
不是先看RS机台有没有漏点有的话去磨针头或换针头吗?
RS机台没问题的话
先看有没有猪PE去改到dose trim
水阻值太低去换离子交换树脂
在不行换A6 A8 A9板
确认wafer cooling有没有问题
以上这些不用动真空
再来就是要动真空测漏
看到source glitch去换source
RS一直往上跑换profiler slit
v-curve确认x-tilt,y-tilt
差不多这几招了啦
你摸Varian有8年请你摸著良心说看看这些很难?
作者: leigo (田舔舔舔) 2016-07-12 20:33:00
来炫技的?
作者: deltarobot (翻出来比大只小只啊) 2016-07-12 20:45:00
喔
作者:
todd7622 (状态显示为脑筋僵化)
2016-07-12 20:46:00有宅有推
作者:
MeiHS (囧)
2016-07-12 21:14:00快解我水桶
作者:
nemies (...)
2016-07-12 22:08:00嗯，赶快说很简单，不然会被说不懂。
作者:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2016-07-12 22:32:00我做完，每次一 Monitor particle 就Ok ,不会再Remon或Run monRS不好一定是真空不佳，至少crying pump 打开至少-6 torr以下不然妳就要On beam开到最大，让它水气减少，真空变佳这样Rs 与 Particle 都会Ok , 重点是真空度真空不佳，你敢交机，累死轮班，让它干醮？难怪抱怨文一堆，基础工作好，事情就简单最后，还是珍惜吧！不适合就眸作
作者:
nemies (...)
2016-07-12 22:51:00crying pump 很会哭吗
作者:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2016-07-12 23:30:00还会结冰流水ㄝ
RS测不过不是通常都Q乱胎chart胎太紧的问题吗?
作者: breakofking 2016-07-13 00:20:00
这才是科技业版啊 High/Medium current/AIBT ipulsar通通拿出来研究讨论 ^_^
作者:
benden (20%/y的蜗牛)
2016-07-13 01:06:00Tech 版回来了！