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Title:日本颠覆台积电霸业的秘密武器？
台积电最新的超大晶圆厂(GIGAFAB)，每个月可生产超过10万片12吋晶圆，每座造价高达3
千亿元。但今年4月1日，日本推出的“迷你晶圆厂”(Minimal Fab)，瞄准物联网时代小
量、多样的传感器需求，起价却只要5亿日币(1.7亿元台币)。《日经商业周刊》称之为：
“颠覆全球半导体业界的制造系统”。
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这个由经济产业省主导，由140间日本企业、团体联合开发的新世代制造系统，，目标是
透过成本与技术门槛的大幅降低，让汽车与家电厂商能自己生产所需的半导体及感应器。
形同推翻台积电董事长张忠谋30年前所创的晶圆代工模式，重回早年飞利浦、索尼等大厂
都自己生产半导体的垂直整合时代。
贩卖这种生产系统的，是日本横河电机集团旗下的横河解决方案。每台外型流线、美观的
制造机台，大小约与饮料自动贩卖机差不多，但各自具备洗净、加热、曝光等功能。每一
台机器，都相当于一条半导体制造的生产线。一条“迷你晶圆厂”产线，所需的最小面积
是大约是两个网球场的大小。也仅是一座12吋晶圆厂的百分之一面积。
“迷你晶圆厂”能够做到如此廉价、体积小，首先是挑战业界常识的创新做法──不需要
无尘室。
半导体芯片上如果沾有超过0.1微米的灰尘就算是不良品，为此，制造室内一定要保持超
高洁净度。维持无尘室需要大量的电力，因此不只投资金额很高、维持费用也相当惊人。
所以半导体不大量生产的话，很难获利。
产业技术总合研究所的原史朗挑战了这项业界的常识。“半导体工厂真的需要无尘室吗？
明明需要隔绝灰尘的只有晶圆而已。”抱持着这项疑问，原史朗从1990年代开始构想“迷
你晶圆厂”。
几年后，原史朗终于开发出局部无尘化的关键技术，并将此成果制出特殊运输系统“
Minimal Shuttle”。利用电磁铁控制开关，几乎不会有灰尘进入。
“迷你晶圆厂”的另一个特点，是不需要用到光罩，这又可大幅降低成本。Minimal Fab
的概念，就是那样的时代十分需要的多种少量生产系统。要处理的晶圆大约直径0.5英吋
，比一日圆硬币还要小。因为晶圆很小，所以生产装置也要跟着变小。
芯片从晶圆上切割下来，大约一平方公分大小。“迷你晶圆厂”的年产量大约是50万个，
一般的12吋晶圆厂则是两亿个。如果只生产一万个，市面上每一芯片要收1万日圆，但“
迷你晶圆厂”只要收1200日圆。
这项“迷你晶圆厂”的研发计画，源自2010年。从2012年开始的三年内，获得经济产业省
的预算，计画也随之通过。现在包含许多制造大厂在内，共140间企业团体参与。虽然是
由横河解决方案在贩售，可是参与开发制造的日本中小企业大约有30间，这也是该设备的
一大特色之一。
目前“迷你晶圆厂”的半导体前段制程所需的设备，已经大致研发完毕，开始正式贩售。
预计2018年以前，切割芯片功能与封装等的后段制程设备也会开发完成。
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