[请益] 半导体制程UV curing hiyasa PTT批踢踢实业坊

[请益] 半导体制程UV curing

楼主: hiyasa (asashi) 2015-10-31 21:30:22

请教下
小弟没进去过半导体厂最近在写些半导体产业状况
若有写错麻烦订正下谢谢!
最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化设备
google查到
他是用在微影制程
主要功能是利用UV光对光阻进行预处理以加强光阻的强度
这是还没在曝光前预热(软烤)的吗?? 还是其他制程?
还是我查的资料有错不是用在半导体制程
谢谢!!!

作者: ChuchingMan (oh ya) 2015-10-31 21:35:00

UV是单独出来的机台, 通常是在IMPL前的制程

作者: bear0 (雄) 2015-10-31 21:51:00

不是用在黄光，用在 TF 氧化薄膜上，使固化没错

作者: lvolingyi 2015-10-31 21:56:00

tf 的ultra low k吧

作者: melzard (如理实见) 2015-10-31 22:03:00

To 1&2F, 确实有用在微影制程.后段metal 显影后可用用在哪看工厂制程设计上可以有不同选择我相信1.2楼看过的flow确实有人会这样安排这种机台的结构设计上相对其他机台简单一些因为只做UV照射, 所以run货速度非常快, 需要监测的参数也较少但是相对来说如果发生问题也比较难第一时间发现

作者: lewecool (Korn) 2015-10-31 22:13:00

LK film后的UV Curing

作者: q169 ( ) 2015-10-31 22:15:00

填via的洞啦.....

作者: windbells (Sunday) 2015-10-31 22:23:00

用来detapping？

作者: marslgj (Bonnie Doon) 2015-10-31 23:29:00

PE:X！又残胶了！

作者: momorabbit ( ) 2015-11-01 00:40:00

很多地方有用@@利用不同波段用在不同的地方~

作者: Rweiwei (史瑞克) 2015-11-01 00:48:00

UV curing 要了解到是把什么原子Cur 出来，半导体通常用Dep之后

作者: toNpppa (Johnny Cash the truth) 2015-11-01 13:44:00

Pm有够麻烦

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