[请益] 关于蚀刻所用机台

楼主: kay242433 (我就想住米缸里)   2015-06-21 22:13:37
各位温拿大家晚安
不晓这篇文章发在这是否洽当
如有违反版规我会再删除!! 谢谢!
我上个月刚到新公司报到,主管前两天丢给了我们一个题目
因为公司是在主要是做机台耗材,所以主管要我们回去做报告有什么是现阶段公司可推销
的?
第一份是要我们针对etch常用的LAM,TEL去做一份40分钟的简报.....(2300KIYO之类)
这真的考倒我了,
一来我刚到一个月还在摸熟公司到底卖些什么产品(主要是O-RING其他我还真的还不熟..)
二来我还在正在搞懂ETCH里面细分的小制程,况且这两厂牌会用到的耗材也不是上网就爬
的?
(我只爬的到机台图片= =)
希望有使用这两厂牌的温拿可以帮帮我,T___T
主要是希望我问你机台内的耗材你再告诉我是否有在使用...T___T
(不需要透漏公司,我只是想搞懂那机台到底有什么..)
有在新竹我可以请你喝杯饮料感谢你的救命之恩,毕竟我真的觉得好悲剧..
谢谢大家 !!!
作者: blackhippo (PH6.0 微.酸民)   2015-06-21 22:20:00
拎刀A业务仔勒
作者: Mary5566 (Mary5566)   2015-06-21 22:26:00
公司没基本资料可以看喔?
作者: yjyang63 (望月 忧)   2015-06-21 22:36:00
Etch 就面板薄化啊我做了3年 网络上很多 你为什么要来这发文
作者: leinru (天阶夜色凉如水)   2015-06-21 23:00:00
这种机台很多要真空吧 etch的话o-ring应该用很凶
作者: mainsa (科科)   2015-06-21 23:00:00
菜鸟业务就去问其他老鸟业务阿 主管派给你整合的工作你问其他老鸟可以问的理直气壮吧
作者: hahaluck (小呆狼)   2015-06-21 23:14:00
我以为学生才会上网求救 做报告
作者: shan751008 (怕尴尬)   2015-06-22 00:11:00
是Kiyo 不是kyo 草雉京吗...Kiyo o-ring 算不多 去看看oxide的吧
作者: smart1988 (苍穹)   2015-06-22 01:06:00
老鸟业务手上应该会有规格表吧...直接拿来研究比较实在
作者: c1823akimo (甜蜜幸福的一坨屎)   2015-06-22 06:48:00
我们PM换的耗材...就oring和各式type的roller可是我们的etch机台不是真空的
作者: sw3939889 (SW39889)   2015-06-22 18:00:00
如果是晶圆用的干蚀刻,除了o-ring跟气体,我还想不出有何耗材喔 对了,输送晶圆片到chamber的的圆管型皮带
作者: WindowsXP (:★↗煞气a作业系统↙☆:)   2015-06-22 20:24:00
RF matcher 也算耗材啊QQChamber内parts送洗也算耗材啊
作者: VSOPTW (special)   2015-06-22 20:48:00
ESC也是耗材?
作者: ctlwmmax   2015-06-22 20:50:00
PARTS所接的地线?
作者: fcucwh (佛剑豪)   2015-06-22 20:56:00
quartz,ceramic, PBI,pin,pad,belt,screw
作者: Collateral (萨克2号机)   2015-06-22 22:37:00
铁氟龙cap... 唯一想到非o-ring的
作者: cavier (泼墨大写意 ~)   2015-06-22 22:50:00
LAM Tool 没皮带吧? PM 用最多的耗材,O-ring 跟无尘布吧开玩笑的...O-ring 就有分动件跟非动件的,更换率也不同
作者: WindowsXP (:★↗煞气a作业系统↙☆:)   2015-06-22 23:46:00
Lam tool有多少 没全用过不要讲没皮带
作者: cavier (泼墨大写意 ~)   2015-06-23 14:24:00
都说 2300 KIYO 了, 需要全用过 LAM Tool ?
作者: cory298 (风)   2015-06-23 20:08:00
lam有压. ram harmonic assembly就有压不过psc比较多吧跟spw吧

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