川宝、志圣 攻3D IC曝光机
2015-04-01 03:49:46经济日报 记者李珣瑛／新竹报导
为协助台湾设备厂抢进3D IC曝光机市场，国研院仪科中心昨（31）日发表全台第一套在
地化、自主设计制造的步进式曝光机投影镜头，预计今年底可以完成曝光机光源模组开发
，设备厂川宝（1595）、志圣、东捷及旭东等，都有意投入生产。
仪科中心昨天举办“半导体制程设备关键元组件展示暨招商说明会”，发表相关研发成果
，期望累积的技术能量与半导体设备产业串联，带动上下游关键零组件在地化发展。
http://udn.com/news/story/7254/808388-川宝、志圣-攻3D-IC曝光机