[请益] 湿蚀刻机台 alarm

楼主: xarch (Leny)   2015-01-29 10:15:20
请问各位前辈
如果机台异常 当机
造成lot 在酸槽或水槽 over dip
有什么方法
在机台异常时可以排除over dip
难道就只能死货吗?
想知道业界是怎么做的 谢谢
作者: handsomeball (㊣棉花糖男孩㊣)   2015-01-29 10:19:00
问你学长不会
作者: MerciQ (gosh...)   2015-01-29 10:46:00
手动拉出来囉 然后加检追货over dip后面还是有机会补救
作者: st890512 (perry)   2015-01-29 11:21:00
妳问Lam还是prs?
作者: RS512 (flying)   2015-01-29 12:38:00
抓alarm讯号连动一个电磁排放阀不就好了......
作者: sandyweill (同花打不打得过full hous)   2015-01-29 12:52:00
叫公司再买一台新的不就好了,赚那么多是要死喔
作者: bluemichael (小马哥)   2015-01-29 12:53:00
call 厂商
作者: jnjh312 (Sun)   2015-01-29 14:35:00
倦酸捕水有开吗?
作者: ElRey (The King)   2015-01-29 15:25:00
设备不是都叫厂商
作者: andyses (黄衫军的荣耀时刻 会喷泪)   2015-01-29 16:32:00
酸槽倦酸补水 因为如果旁边QDR有货 酸槽的货也没办法拉到水槽去

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