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[请益] CMP设备应用

楼主: kiyohara (清源)   2014-10-28 21:39:16
不好意思
因PO在它板没人理我
因在做IC产业研究 遇到些疑问
想请教了解CMP设备的大大
传统IC制程有用到CMP　最近当红的3D-IC也有用到CMP
这两种制程的CMP都不同吗??
还是只是研磨　都可用同款CMP? (连里面的零件都一样)
谢谢!!
作者: bagayala (向来痴 从此醉)   2013-10-28 21:39:00
都可以
作者: CoolPotato (酷翻鼠)   2014-10-28 21:40:00
研磨用在很多地方唷
作者: HFET (绅士场效电晶体)   2014-10-28 21:50:00
譬如说磨马铃薯皮
作者: KEEPLOVING (坚持)   2014-10-28 22:13:00
没人推荐磨豆浆吗
作者: dinway (......)   2014-10-28 23:40:00
磨铁路
作者: lewecool (Korn)   2014-10-29 02:32:00
机台可以共用啊,3DIC的CMP制程要克服的点跟前端不太一样
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