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作者: F15 (F15) 看板: Electronics
标题: [问题] 曝光机 数值孔径与同调度
时间: Sat Sep 6 22:41:25 2014
各位前辈好
请想问关于这两个参数的问题
以及绕射的问题
1.
一道光垂直经过狭缝(光罩)
会产生绕射 主要会有0阶 +/-1阶
0阶光应该会是这种情形
http://forum.phy.ntnu.edu.tw/wiki/images/8/8d/DSCF0628.JPG
如果根据惠根斯定理
将光源视为无限点光源则是这种情形
http://202.192.168.54/dxwl/2001dianzi/lecture11.files/image053.jpg
点跟点之间互相产生干涉
那我想问的是
所谓的+/-1阶光 或者其他更高阶光
指的是什么意思呢?
2.
就目前知道 同调度(SIGMA)调高(同调性下降)
出射光的角度会变大
影响到的是0阶 +/-1阶的投射直径
请问这个直径代表什么意义呢?
3.
请问有人能帮我详细解释 数值孔径(NA)跟同调度(SIGMA)
对contrast 与 DOF的相关性吗?
如果用打字的太麻烦
麻烦站内信手机给我 我再打过去跟您请教
已经研究很多天了 但还是问题很多
请各位帮帮忙 谢谢!!

你用几何光学的思考当然想不通查 diffraction from single slit,在查 main lope宽度与波长的关系就会懂了

我也想知道3，有高手可以帮忙解答吗

你要去查绕射或干涉条纹 绕射的话是同心圆条纹 0阶的光是最强且条纹半径最宽 1阶的光强度就少0阶10倍左右 以此类推递减 详细公式网络上都有 对比度就要是查定义 没记错是亮纹光强度/暗纹光强度 那个跟孔径有关 公式应当有

1 似乎是傅立叶级数展开2 是指傅立叶转换的空间频率高都还给老师了XD3 同调性高的话 干涉的VISIBILITY会较高

他的问题不需要用富氏光学解释 XD

http://ppt.cc/~TFU http://ppt.cc/qbAK

用傅立叶太杀了啦

太杀+1

1.参考高中单狭缝绕射 中央是0阶 往外延伸是1阶 2阶…若用更进阶的话来说 圆孔绕射大致上是sinc{x}的分布

数值孔径与……成反比