Re: [新闻] ASML强敌来了!陆“EUV关键技术”大突破

楼主: zh9070 (我赢了)   2025-01-18 17:10:32
在付费网站上查了一下赵永蓬的学术状况,他现在工作单位:哈尔滨工业大学
可调谐激光技术国家级重点实验室,博士生导师,他自己的论文很多,发表时
间大部分在2018年之前。他2018年带的博士生名叫徐强,论文题目是《毛细管
放电Z箍缩Xe等离子体EUV光源研究》。他2023年带的硕士生名叫李家祺,论文
题目是《重复频率毛细管放电Xe等离子体极紫》。
在赵永蓬+EUV蒐索条件下,祗得到一条中国科学院上海光学精密机械研究所所
发的讯息资讯:“2024年3月18日 上海光机所在EUV和软x射线分束器方面首次
取得进展”,
在徐强+EUV和李家祺+EUV蒐索条件下,结果均为零。
大致认为实验室阶段关于极紫外的研究弄差不多了,负责转化工作的应该是上
面提到的上海光机所。这是一个非常复杂的事情,单靠一家研究所是不够的。

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