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力拼ASML！佳能开卖芯片制造新设备
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发布时间：
2023/10/14 07:40
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※原文无记载者得留空
原文内容：
〔财经频道／综合报导〕日本佳能公司已开始销售奈米压印（Nanoimprint lithography
）半导体制造系统设备，试图与业界领导者荷商ASML和日商Nikon竞争，抢占半导体制造
工具市占率。
佳能新型芯片制造机可以使用极紫外微影 （EUV） 生产相当于5奈米规模的电路，EUV由
行业领导者ASML主导。佳能在周五（13日）的声明中表示，预计其设备将透过改进达到下
一代 2nm生产。与国内同行Nikon一样，佳能在EUV竞赛中远远落后ASML，但其奈米压印方
法可能有助其缩小差距。
奈米压印曝光长期以来一直提供光学光刻的低成本替代方案，并且过去曾由内存制造商
SK 海力士和东芝公司推广。这些机器绕过传统的光刻技术，直接将电路图案压印到硅晶
圆上。东芝前内存部门Kioxia Holdings Corp. 之前测试过佳能的纳米压印机，确认已
达到商业成熟度。佳能现在证明它已经解决困扰的高缺陷率等问题。
佳能于2014年收购奈米压印先驱Molecular Imprints Inc.，并花了近十年的时间研究该
技术。作为台积电的供应商，佳能正在东京北部的宇都宫建设20年来第一座光刻设备新工
厂，预计将于2025年投入生产。
值得注意的是，佳能的机器也可能为中美贸易战增添新战线，因为贸易制裁禁止向中国进
口EUV机器，而佳能新的技术完全跳过光刻技术，而是将所需的电路图案压印到硅晶圆上
。由于产品的新颖性，目前贸易限制不太可能明确禁止对中国销售。佳能发言人拒绝就新
设备是否受到日本出口限制发表评论。
受日本股市大规模上涨以及人工智能应用带来的芯片制造设备需求提振的推动，佳能股价
今年以来已上涨26%。
心得/评论：
佳能推出奈米压印半导体制造系统设备 不清楚此技术是否能威胁到ASML 但有竞争或许
是件好事 能压低EUV价格?!
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