原文标题：设备业：台积关四台EUV 是为升级
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发布时间：2022年9月7日 周三 上午4:10
记者署名：涂志豪
原文内容：
晶圆代工龙头台积电传出将关闭四台极紫外光（EUV）曝光机，市场担忧是否为后续需求
不振及客户扩大砍单？然而据设备业者指出，台积电将旧的四台EUV曝光机关机的目的，
是为了将设备升级到3600D规格，升级后的单机生产量能（through put）可提升18％左右
。
上周已有外电报导指出，传闻台积电可能从年底开始关闭部份的EUV设备，一方面是因为
市场需求可能出现松动，另一方面则是EUV设备非常耗电。
设备业者指出，像曝光机这类高精密度的半导体机台，就算市场景气不好、客户大幅砍订
单，晶圆厂也很少会做出关机的动作。这是因为关机就跟停电一样，所有制程参数都要在
重开机后重新再作调整，且无法预期可维持最佳良率。以目前台湾电费算相对便宜的状况
下，厂商作出贸然关机的动作，可能性不高。
至于台积电这次将部份EUV曝光机关机，主要是为了进行设备升级，与近期市况无直接关
系。
据相关设备业者的说法，台积电3400B及3400C旧机型EUV曝光机，将关机进行升级，调整
后将可升级到3600D规格，这样一来单机生产量能可提升约18％，而且设备升级是依原订
计画进行，并不是市况不佳而导致关机停产，更不是为了节省电费的目的。
心得/评论：
呼~ 原来停机4台EUV并不是因为省电更不是因为没订单
是因为机台要升级! 升级后产量、良率更是UP UP!
今天跌下来根本是让各位加码捡便宜的 有够爽的啦!