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清大半导体学院院长林本坚称，台积电EUV量产很久了，技术弯道超车Intel
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发布时间：
2021年12月27日 周一 下午3:21
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记者李纯君报导】前台积电研发副总，也是清大半导体研究学院院长林本坚，今日回忆，
各国际大厂在先进晶圆代工制程领域，先前的EUV联盟，台积电没办法参加，改用浸润式
（Immersion）微影技术；而发展至今，台积电已经量产EUV很久了，技术上弯道超车英特
尔。 林本坚今日出席清华大学半导体研究学院揭牌仪式，在受访时回忆，英特尔2002年
，号召业界成立EUV LCC联盟，包括摩托罗拉、AMD等大厂都在里面，当时目标包括，开发
出的设备能够优先被使用到40奈米与60奈米，这个联盟当初设定为六家厂商，最后一个名
额被IBM抢走了。
他进一步提到，当时因为名额满了，台积电不能参加EUV LCC联盟，就自己想办法，在先
进制程的开发上，先采Immersion技术，也因此，台积电其实直到近年的5奈米，才采用
EUV机台设备。
但以结果论来看，英特尔率先成立的EUV LCC联盟，除了英特尔之外，其他5家并没有再持
续了，而且现阶段，台积电以EUV设备为主的5奈米制程已经量产很久了，领先全球半导体
厂商，但英特尔却尚未进入EUV量产，此外，英特尔率先成立的EUV LCC联盟，除了英特尔
之外，其他5家并没有再持续了，以结果来看，台积电反而是领先的。
林本坚也补充，从采用微影技术，让制程推进、芯片缩小观点，半导体应用范围越来越广
，量也很大，实际上，要如何以最低的成本达到最高的效果，才是挑战。他更提到，不一
定从EUV技术去做制程微缩着手，因为用EUV的成本很贵，划不来，但也不代表半导体技术
不需要微影，思考重点是，若有别的办法缩小尺寸且更能降低成本，就用别的办法。
心得/评论：
看起来林本坚大老 还是很不看好EUV
但是 GG目前也是用EUV来做
难道gg又可以开大 用duv去做?