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作者: orz44444 (穷鬼本来就没有当人的命~~) 看板: Tech_Job
标题: [新闻] 台积18a厂出包 全力抢救
时间: Sat Jul 31 05:30:49 2021
https://udn.com/news/story/7240/5639970
2021-07-31 05:17 联合报 / 记者简永祥／台北报导
拥有全球最先进制程的台积电南科十八ａ厂，前天晚间惊传制程出状况，部分产线停摆，
虽然台积电即时调度其他气体供应，并强调对营运无造成显著影响。但据供应链透露，截
至昨天傍晚，台积电厂务忙成一团，全力清理受污染的氧气槽，估计需花费三到四个工作
日才能让生产作业恢复正常水准。
这也是台积电南科厂区在二○一九年一月发生光阻剂污染事件后，南科厂区再度爆发制程
受污染事件，且都是发生在最先进制程的主要生产重镇，供货对象都是国际知名大厂，事
件后续备受关注。
台积电发言体系昨天表示，南科十八ａ部分厂区来自厂商供应的气体疑似受到污染，但已
即时调度其他气体供应。台积电强调，“为确保生产品质无虞，目前正进行严密后续作业
。此事件目前已知对营运并无造成显著影响，后续将持续追踪。”
不过，供应链消息证实，截至昨天下午，台积电南科十八ａ厂仍全力进行氧气槽清理作业
，且将供应商全数挡在门外，由于氧气是半导体制程重要供应气体，台积电除了清理氧气
槽、确保排除污染，也需抢救其他包括炉管、物理及化学研发和蚀刻等重要制程设备，需
同步确认排除污染源，在在考验危机处理能力。
半导体业者表示，半导体制程高达七百多道，约有二百七十道需使用氧气，涵盖蚀刻、物
理及化学研磨，几乎都是核心制程，且南科十八ａ是台积电最先进五奈米核心制程，目前
生产项目又是苹果下世代五Ｇ手机要用的核心处理器和超微新一代处理器，此刻事件可说
是直中要害。
台积电昨淡化此事，强调未造成显著影响。但据调查，清理氧气槽需花费三到四天，且产
线停摆范围相当大，相关设备供应商也被通知待命，配合全力抢救，以利尽速让产线恢复
。
目前还无法确认台积电十八ａ厂此次因氧气污染造成的损失，但相关供应商已被通知今日
起减量供货，预料影响不轻，但实际影响有待台积电进一步说明。
台积电二○一九第一季发生光阻液受污染，受影响客户包括苹果、高通、辉达、超微、海
思、联发科等重量级客户，并造成单季营收短少五点五亿美元，毛利率减少二点六个百分
点。这次十八ａ厂重要性更高，是台积电生产五奈米核心厂区。