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台积电绿色制造 大跃进
2021-04-01 00:56 经济日报 / 记者尹慧中╱台北报导
台积电昨（31）日发表系列绿色制造进展，包含水管理、节电与先进材料分析，其中，台
积电打造高自动化先进材料分析中心，也是国内首座全自动化分析中心，首创高效率危害
物质筛检机制，该中心并建置台湾半导体界首台全自动光阻分析整合平台，减少员工暴露
于化学品危害，并提升分析效率93%。
业界观察，半导体先进材料分析攸关生产品质管控，近期不少材料分析厂商交期拉长一周
不等，并有传出涨价。台积电打造全国首创的自动化先进材料分析中心，能大幅减少分析
资料判读时间，有助于先进制程材料品质管控，也能强化整体生产力与效率提升，更进一
步维持在全球晶圆代工领先的地位。
台积电说明，今年3月24日打造国内首座先进材料分析中心正式开幕，同步建置专属的原
物料危害物质特征频谱数据库。
台积电强调，透过业界首创的高效率危害物质筛检机制，完成100%有疑虑材料分析，大幅
减少分析流程与资料判读时间，从七天缩短至12小时，效率提升93%。
另一方面，台积电因制程机台用电量占公司能源使用五成以上，也持续要求近700家设备
与厂务供应商一同设计节能设备或方案，去年已有139项节能方案导入5奈米及以下先进制
程，其中包含68种5奈米及未来的3奈米的先进制程机台。
台积电指出，去年提出272项节能方案，包含六大合作厂商与十大机台领域并针对17种耗
能元件导入高效能零件与节能设计，成功于当年度省下2亿度用电量。
至于在强化水管理上，台积电强调，以可持续水管理标准（AWS）五大推动成果为执行基
础，持续推动各项水管理计画，预计于今年完成先进封测三厂、晶圆12A厂、晶圆12B厂及
晶圆五厂的认证，致力达成水资源使用效率最佳化，善尽环境永续责任。
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干脆投资两兆风电跟海水淡化好了
以后不怕缺水缺电
GG稳了？