原文标题：ASML：摩尔定律没有减速或失效，还将持续 10 年或更久时间
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发布时间： 2021 年 03 月 29 日 17:40
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原文内容：
众所周知，荷兰商艾司摩尔（ASML）曝光机一直是半导体制造的关键设备，尤其独家生产
的极紫外光曝光机（EUV）更是不可或缺，也是协助台积电、三星、英特尔能往先进制程
发展的重要设备，美国限制中国无法取得 EUV，使中国半导体发展始终落后其他国家。
半导体生态系占据如此关键位置的 ASML，究竟是什么公司也引发外界好奇。《路透社》
专访技术开发副总裁 Tony Yen，与 Tony Yen 对谈让外界了解，ASML 的经营、文化、产
品发展。
问：您如何描述 ASML EUV 及功能。
答：我们制造的机器是曝光工具，生产每个人都需要的芯片。目前台积电、三星、和英特
尔是我们的三大客户。
问：ASML 为该领域的领导者，具备哪些要素？显然有入门障碍，如前期成本和技术技能
。但为什么其他公司不能复制？
答：ASML 根植于荷兰文化，公司的决心、工程师的组成、管理层和客户是成为领导者的
因素。
荷兰人口虽然只有 1,700 万，但公民都受过高等教育。ASML 拥有许多博士和硕士学位员
工，且公司非常国际化，餐厅可听到各种语言交谈，包括中文、俄文、东欧文、西班牙文
、意大利文、德文等。
因国际化特性，员工被公司文化吸引，这非常重要，将使公司注重结果，且由技术带动的
发展容易实现。公司高阶领导人都拥有物理学博士学位或物理学家学位，在 ASML 扮演关
键角色。他们帮助 ASML 透过物理学常识发展特殊设备机械，包括提供先进芯片使用的
EUV 曝光机，这是 ASML 成为领导者的关键之一。
问：ASML 何时开始考虑发展 EUV？
答：大概始于 2000 年，公司决定大量开发与生产曝光机。当时日本厂商没有做，因觉得
EUV 系统非常复杂，且无法确保 EUV 设备 100% 起作用。
ASML 有德国合作伙伴蔡司（ZEISS），生产光学系统为主，历史可追溯到 1850 年。
ASML 与蔡司合作，蔡司专门为 ASML 制造光学系统。ASML 也为蔡司许多开发提供资金，
因此蔡司只能出售半导体相关光学系统给 ASML。ASML 还收购了美国圣地亚哥 Cymer，这
是使 EUV 发挥作用的另一家关键厂商。
问：ASML 如何将产品推广到市场，且之后生产出符合需求和规格的产品？
答：从早期开发阶段开始，两者是相互的。客户采用 ASML 早期设备，可靠性不高，这些
机器有 50% 时间是停机状态，却能提升生产芯片所需的功能。如果客户提升芯片生产，
或生产更小的芯片，就必须选择 ASML 的机器，但当时这些机器不是必要设备。
第一台 EUV 于 2010 年送交三星，2011 年送交台积电，这些都是早期机器。ASML 经历
许多研发，且也让客户知道 ASML 长期参与客户开发产品的过程，让他们对我们设备有信
心。对最早期的客户，ASML 将开发工具放在客户端，并物理上与客户共同开发技术，互
相合作的基础上，开发出达到客户需求的产品。
问：可说明先进制程 7 奈米、5 奈米、3 奈米发展状况吗？还有先进制程技术的转移状
态？
答：大规模生产最先进制程技术是 5 奈米节点，是台积电和三星目前的技术。英特尔 5
奈米制程节点落后，甚至没有 7 奈米制程节点大规模生产。必须注意的是，因英特尔有
更高等级的设计规则，因此英特尔 7 奈米节点相当于台积电和三星的 5 奈米节点。相关
技术并非完全一模一样，很难说哪家产品较优异。
客户转向更高级制造流程，一般所需时间约 5 年。ASML 会与客户相互发展目标，虽无法
透露细节，不过大致上是规划产品，然后获得董事会许可开发。一旦产品开发成功进入量
产阶段，出口地点不是受管制国或地区，预计 2 年就会运交量产型产品设备。
问：您一定常被问到，且目前情况会加剧的这问题：对摩尔定律到极限有什么看法？
答：许多人说摩尔定律失效或减速，但我认为没有，也没有减速。就 ASML 的看法，摩尔
定律可能还会再延续 10 年，甚至更长。且芯片面积微缩未来还可持续至少 10 年。
人们谈论的堆叠是芯片做法，就是所谓的 3D 整合，台积电和三星对此进行很多讨论。
ASML 的看法，虽然 3D 整合正在发生，但 2D 平面芯片面积微缩仍至少可持续 10 年。
为此目标，ASML 下一代 EUV 曝光设备也积极开发。
问：ASML 是否考虑投资机器学习或 5G 标准，这将影响市场需求吗？对 ASML 来说是否
太下游？
答：这距离不算太远，因苹果、三星、高通等都在生产 5G 芯片。华为进入实体清单，因
此市场位置被小米和其他中国品牌接收，高通经三星 5 奈米制程生产的高阶芯片，目前
进入大量生产，ASML 也在享受美好成果。
问：您对地缘政治有什么看法？
答：我不是发言人，但 ASML 遵守所有法律。如果我们机器一部分是美国制造，且有人列
入实体清单，我们就必须遵守美国出口法令。
ASML 美国公关经理 Brittney Wolff 补充，这是 ASML 必须非常认真考虑的事，因为在
许多国家地区都有业务。但 ASML 在任何地方发展业务时都遵守当地法令规定，且从来没
有遇到任何挑战。
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摩尔定律真能再战十年甚至更久吗?
那续抱台积应该不会错吧?
不过内文题到INTEL虽然5奈米7奈米落后于台积三星
但 更高等级的设计规则 可以弥补差距?
更高等级的设计规则 是什么呢?