ASML表示不需美国批准 DUV微影机可卖给中国
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2.原文内容：
2020年10月14日，ASML的CFO Roger Dassen表示，ASML在没有美国许可证的情况下，仍能
从荷兰出口DUV微影机至中国。至于更先进的EUV微影机则无法出口至中国，因为EUV微影
机的相关技术或零件是从美国出口的，因此需要美国批准。
美国对高科技设备管制进入中国，微影机台（lithography machine）是芯片制造的核心
设备，该市场由荷商ASML、日商Nikon和Canon三雄割据，其中又以ASML拥有最先进的EUV
微影机技术。据报导，ASML微影机的市占率高达89%，其余的两家分别为8%和3%，总计仅
11%。目前，最先进的EUV微影机市场由ASML独家供应。近日报导指称，ASML可能出口微影
机给中国业者。
一台微影机由成千上万的零件组成，每台微影机的价格可能高达一亿美元以上。目前微影
机主要分为DUV微影机(deep ultraviolet)和EUV微影机(extreme ultraviolet)。其中以
EUV微影机的技术最先进，可突破5nm晶圆制程节点的重要工具。
ASML认为DUV微影机预期可出口到中国，主要原因有二：
1. 中国巨大的市场需求。根据中国海关总署的数据，今年(2020) 1至8月止，中国累计进
口了价值3334.6亿美元的积体电路，较去年同比增长22.5%。
2. 中国增加了对半导体产业的投资。微影制程已经突破到28nm，对阻止DUV微影机的出口
限制中国市场，已经没有太大意义。
但是，DUV微影机是无法生产14nm或更小的晶圆。（准确地说，液体浸润式（liquid
immersion）DUV在多次曝光后是可以生产7nm晶圆的，但良率低且不稳定），要突破14nm
就要靠EUV微影设备。如果未进口EUV微影设备，则只能生产14nm或更大的晶圆。此外，生
产芯片所需的材料仍受美国技术的牵制。没有这些材料，也无法生产40nm以下的芯片。因
此，中国芯片制造商中芯国际表示，如果完全不使用美国技术，他们目前只能生产40nm的
芯片。
以下是ASML的CFO Roger Dassen接受媒体专访内容，如下：
请概述ASML在2020年第三季表现如何？
首先是今年第三季收入达40亿欧元，EUV出货14台，其中10台EUV本第三季出货，另外4个
是第二季推迟到本季的订单。其中，整机安装数量（Installed Base）的收入为8.62亿欧
元。毛利率中位数47.5%。
第三季表现亮眼的原因，主要是EUV净收入11亿欧元。本季营收29亿欧元，其中包括5.94
亿欧元的EUV总共4台。但这是净预订，因为这4部EUV将因节点转换需求不同，而调整价格
。(由此推估，一台EUV约1.5亿美金。)
将在第四季交付第一台浸润式系统（immersion system）NXT: 2050i。该系统具有更好的
叠对控制（overlay control）和生产量，将为客户带来更多价值。即使在COVID-19疫情
之下，ASML运营不受影响仍正常供应。
请问EUV最新进展的以及明年展望如何？
从逻辑（Logic）芯片的角度来看，EUV确实可帮助逻辑越来越多层。在内存方面，特别
是EUV对DRAM制造助益越来越强。这确实是一个很好的进展。
EUV产能方面，ASML对周期的改进，在今年底之前，将周期缩减至20周，如此将EUV产能达
到45至50部机台。
从EUV出货量：到第三季为止，ASML总共出货23台EUV；预估2020年整年，可能接近35台，
预期EUV营收45亿欧元。这是基于客户工厂准备的问题以及节点转换的延迟。至于明年
(2021)，仍存在很多不确定因素，如基于地缘政治所发生的大环境变化，还有COVID-19疫
情和未来经济复苏的问题。所以，可能影响制程制造的节点转换及既定时间表。尽管如此
，ASML还是希望明年能看到2021年EUV收入增长20%。
EUV毛利率方面，就EUV机台及系统的全年销售而言，其毛利率仍然很大可能性达到40%。
这主要是通过降低成本并为客户提高EUV价值而来，且达到在两三年内，EUV毛利率将接近
DUV。
展望2020年第四季和2020全年的看法
至于第四季，ASML预计收入为36至38亿欧元，其中，内存的销售部分更高。就毛利率而
言，预计为50%。与过去几个季相比，这是一个很好的成长。进一步预估2020年整年的实
际销售额至少达到了133亿欧元，这跟我们年初估计的目标十分相符。在逻辑、内存和
整机装机量收入方面亦如此。虽然，今年大环境挑战多，特别是在疫情影响之下，但
在今年是可取得相当不错的成绩。
请问美中贸易战，ASML是否受到美国对中芯国际SMIC的限制影响？
首先来谈ASML在中国的业务。去年(2019)，ASML的中国本土客户创造了约8亿欧元的销售
额。今年(2020)预计会超过10亿欧元，今年比较偏向逻辑芯片。至于客户中芯国际是逻辑
芯片的大客户，但我们不会对特定的客户进行评论。总体而言，ASML会尽力为客户提供服
务，但必须在法律和法规的要求范围内。目前ASML能够在没有美国出口许可证的情况下，
将荷兰的DUV微影系统从荷兰运送给这些中国客户。但是，如果产品涉及直接从美国输出
的零件或系统，我们就需要为此申请出口许可证。
展望2021年，ASML期望将看到EUV销售额增加20%。但成长的幅度显然取决于未来许多不确
定大环境因素。但大多数客户认为，到今年年底，库存问题（尤其是DRAM）可能会有法解
决，预测2020第四季内存销售额会成长，且持续到明年。在逻辑芯片方面，仍期望是一
个健康市场，这取决于大环境变量，还有节点转换的时间表是否有效率。至于，EUV整机
安装量：看起来很强劲，增长的幅度将取决于制程的升级情况。
由于，看好终端市场（AI、高性能运算以及5G相关）的发展趋势，将可持续驱动半导体产
业未来成长。
3.心得/评论：
ASML财务长在近日访问中分享了ASML今年下半年表现及明年展望，并表示向中国公司出售
DUV微影机的行为不会受美国禁令影响。