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00:03 2020/10/02 中时新闻网 吴美观
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台积电扫货全球半数EUV机台，三星看不见车尾灯。（图/达志影像/shutterstock）
台积电7奈米、5奈米订单爆棚，为加速3奈米先进制程开发，预估明年EUV（极紫外光）机
台将超过50台，几乎全球一半EUV设备都在台积电手里，狠甩竞争对手三星。对此消息，
台积电不予置评，因为涉及商业机密。
台积电今年下半年全力冲刺5奈米量产，明年还展开3奈米生产线建置，对于EUV曝光机需
求大增。《电子时报》报导，供应链消息指出，台积电目前已采购35台EUV设备，占微影
设备大厂荷商艾司摩尔（ASML）过半产量，光是5奈米、3奈米据点的南科就达20台，明（
2021）年底采购总量将超过50台，预估55台左右。
相较之下，三星EUV设备采购量目前不到20台，业者估算，明年也不超过25台，看不见台
积电车尾灯，从设备、零组件采购数量来看，凸显台积电、三星在先进制程与接单量的差
距持续扩大。
台积电看好5奈米和3奈米先进制程在未来几年强劲需求，今年资本支出已提高至160～170
亿美元，代表将持续增加EUV曝光机采购量。
由于台湾EUV机台装机规模领先全球，艾司摩尔为了服务最大咖客户台积电，选择在荷兰
以外的南科设立首座EUV全球技术培训中心，为台湾半导体产业提供更完整的服务。
然而艾司摩尔这项美意，却让台积电工程师哀号。业内人士透露，以往要学会使用EUV设
备，只能去荷兰受训，现在不必出国在南科就能完成训练，无法享受出国的福利。
心得/评论：
根据新闻预估明年几乎全球一半EUV设备都在台积电手里，
台积电还是领先对手长期大势看好。