突破“芯”封锁 传中国向荷兰买两台“光刻机”
2018-05-22 13:46世界日报 中国新闻组╱北京22日电
尽管最新的中美联合声明中未提及各方关注的“中兴禁令”事件，令中兴前途难料。然而，
有媒体披露，事件让中国意识到必须突破芯片技术封锁，并已低调进行。中国两大公司先后
从荷兰订购两台用于制造芯片的核心机器“光刻机”，其中一台近日已运抵武汉，另一台则
在明年交货。
每日经济新闻网综合各方消息报导，近日“长江存储”与“中芯国际”先后从荷兰公司阿斯
麦（ASML）订购了两台高端光刻机，总价值12亿人民币。
长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一，由紫光集团与国家集成电路产业投资基金
、湖北科投等合资成立，被寄望推动中国半导体产业自主研发。而2000年成立的中芯国际（
SMIC）总部位于上海，据称是中国规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业之一。
据报导，长江存储从阿斯麦公司订购的一台光刻机已抵达武汉，这台光刻机价值7200万美元
，约合人民币4.6亿元。
巧！ 中兴风波后中芯即下订
报导引述日经亚洲评论指出，中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极
紫外线）光刻机，预计于2019年初交货。
报导指出，值得注意的是，中芯国际订单的时间点恰恰是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁
之后。
光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世
界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。
目前，阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。最新的两代高端光刻机领域，即
浸入式（Immersion）和极紫外线式（EUV）光刻机，全部由阿斯麦掌握核心技术。
EUV是目前世界上最昂贵也最先进的芯片生产工具。小于5纳米(奈米)的芯片晶圆，目前只能
用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了
阿斯麦公司的EUV光刻机。
驳！ 阿斯麦：无“限中”条款
此前曾有说法认为，最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响，被禁止向中国出售。该
协定由40个国家签署，限制缔约国向非缔约国出售敏感性高科技技术。
不过，阿斯麦公司发言人向日经新闻驳斥这一传闻，其表示，阿斯麦公司对全球各地包括中
国在内的客户一视同仁，对中国晶圆厂商的出口不受协定等任何限制。
美国政府月前公布禁止美国公司向中国的中兴通讯公司出售包括芯片等零组作后，外界普遍
相信芯片成为中国科技崛起的软肋。
来源：https://udn.com/news/story/7333/3155801