1.原文连结：
http://www.chinatimes.com/newspapers/20171125000185-260206
2.原文内容：
《其他电子》致茂携手工研院，打造兆晟小金鸡
量测与检测设备厂致茂电子（2360）携手工研院养小金鸡！转投资的新创公司兆晟奈米科
技昨（24）日正式与工研院签约技转“新世代溶液奈米粒子监测系统（SuperSizer）”，
致茂兼兆晟董事长黄钦明表示，未来兆晟将锁定奈米检测技术，集团母公司致茂也会一起
在半导体前端制程打天下，技转单位工研院量测中心更期许兆晟要成为汉微科第二。
致茂前三季合并营收达97亿元，税后净利达17亿元，较去年同期成长25％，至于10月营收
15.66亿元，也有年增94.17％的表现。
由于半导体IC的湿式制程中需要使用特定化学溶液清洗、蚀刻与研磨晶圆表面，化学溶液
中的杂质会影响制程良率，而现阶段多采用光学原理来量测化学溶液，极限只能看到20奈
米，因此溶液的中微奈米气泡常成为不容易发现的“老鼠屎”。但SuperSizer创新了量测
方法，先将溶液气雾化，再搭配电压变化影响奈米粒子的移动，以及再次凝结经气雾化的
奈米粒子，便可精准量测溶液中粒子的粒径大小与分布。
致茂也是相准了这点，才展开投资，黄钦明说，这个技术的测试结果令他相当佩服，也是
让他想要加以发扬光大的原因。在与工研院联手创立了兆晟后，先以帮助台湾半导体厂提
升良率为目标。除了半导体外，包括生医、制药都是可以应用的范围。
工研院量测中心主任林增耀说，可视化、有价值的数据检测，是改善良率的关键之一。
SuperSizer不仅可以连续24小时线上监测研磨液、双氧水及超纯水等化学溶液中粒子的大
小与浓度，可量测的粒子范围达3～1千奈米，远优于业界水准，而且半导体厂也不需要改
变原本的制程。
黄钦明表示，兆晟将与致茂共同切入半导体前段制程检测，并已获准进入新竹科学园区，
资本额将从2,000万元增至2亿元。目前半导体制程已推进至七奈米、三奈米，而良率更是
先进制程的主战场，如果可以有效监管、检测杂散的奈米粒子、并加以控制，对半导体制
程良率提升将有很大的贡献。如果能帮助半导体制程良率提升1％，获利将可提升8％，成
果惊人。
(工商时报)
3.心得/评论：
汉微科第二，有可能吗??