感谢楼下的各位回复，目前这组腔体会把牙孔保留（还有其他测试要用）
挖一个洞焊接kf40的接头型式与帮浦（新帮浦）衔接，
先测试腔体能到达10-3torr在走下一步，更换真空计跟修改牙口的管路。
想请教板上有没有真空达人......
目前小弟遇到设备的腔体客户要求达到1pa
换算torr 是 10-3
但我标头的真空值显示-80kp就下不去了（目标值1pa=-101kpa吗？）
搞不太懂哪个环节出问题。
另外腔体我放置12小时负压-78kpa变-77kpa
理论上泄漏很微量。
https://i.imgur.com/Yjchblv.jpg
附上帮浦资料
https://i.imgur.com/80VxuYd.jpg
https://i.imgur.com/V0CFDt3.jpg
有人有推荐的表头跟pump吗？

站压站的住吗

这样接可以往-101kPa吗.你规格似乎是高真空了...先确认其它接头处有无泄漏，焊接体是否也没泄漏。

先确认真空表量测值线性范围可以到这数字不然你会被读数不正确的问题搞死XD

帮浦规格对吗

如果不是帮浦用错、真空计有问题 那就是有漏

十二小时少一，差不多是零泄了，你应该是负压在抽看看，机械本身能抽那么高吗经验上是有的号称可以抽到这样高，但是实际上抽不起

泄漏并是不是只看12小时，有可能你的抽与漏，已经刚好平衡，所以真空只能在-70kPa另一个做法，先排除管路，腔体灌入一正压，接缝处涂泡水，接头处都涂，看看有否泄漏

拿PUMP去抽别台阿

照图看，这?大的箱体，如果是微弱的平衡，应该是很快就掉了小箱体我才有遇过这种事，大箱体，我没遇过就是了当然a大的打正压下去看泡泡，这我也常这样做，这都试看看吧

1. 这颗pump是单级还是双级的？ 如果是单级很难到10-3 torr2. 用这种管子可能很容易渗气体或漏气3. 要求的1 Pa应该是 0.0075 torr才对，看你那个真空表大概只能显示到 kPa 或 torr，并不适合4. 要测漏的话可以在抽真空时轮流在各接缝处喷酒精，有漏的话压力会升高

我猜读表不准 要量真空压的读表都是torr

1.光描述你就用不同单位 换算就搞死你自己了把表头直接装pump上 你就看的到最大能力如果这种大小抽真空 跟单抽pump差很多 就是漏网络上就有单位换算 做任何动作前 先统一单位

对啊，其实我觉得这也怪，其实我做的也不少，但单位到每家，每家买的都不一样单位这有没有其它大大能教一下，为什么吗?

压力单位大概有8种 各自为政 但设计的人就是要单一化

这个压力区间通常会用热传导真空记 常见品牌像是GP LeyboldEdwards等等价格会比你这颗贵上不少

先不提有没有泄漏，你那么细长的PU管在你要的压力尺度下会是抽气的瓶颈

Pump太小，管线配置有问题，显示器没那么精准。

SMC那表头无法显示真空的，只能到负压；腔体那么大用这么小的PUMP，而且1Pa应该用金属管了，PU管搞不好还有OUTGAS改铁改铁氟龙管可能好一些，去ULVAC网站看一下吧然后有看到白色物，该不会用水龙头泄漏带吧?若是，可能得找真空厂商进补一下基本知识了另外，真空都是用氦气测漏仪， 还有人打泡泡酒精的，晕!!不过显示停在80kPa，只能算负压等级应该还不能用氦气测漏仪接头如果锁牙，通常都会用AB胶密封，AB胶内外牙都要涂

酒精随处都可拿到，比一大台又贵的氦气测漏仪 还要拉氦气管路的测漏方式方便多了用白色铁氟龙止泄带没问题 况且楼主要求只有 10-2 torr管子要换倒是真的，如果不想用金属KF Bellows，至少换成铁氟龙 (FEP或PFA)管

没有氦气测漏仪时，酒精是很好的测漏方法。表头,pump,止泄带都有问题，还有下方的讯号接头，如果您在台中，可以搬来我厂内，免费帮您氦气测漏！

嗯，你要看范围。He 是在比较高端的在用，像有管路泄漏会引起爆炸像我做电子业的防爆防水，其实不用氦气，负压跟正压交相来就好了

氦气是因为往上飘，酒精会扩散，测漏是在找泄漏点，所以靶子跟飞镖越准越好。100Pa内才算到了真空，1ATM到100Pa可能3秒，但100Pa到10Pa搞不好永远到不了，真空跟负压差很大

液体测漏是便宜方便用 如果能达到测漏仪程度 谁会买?液体测漏最大问题是 真空状态下 液体会凝结缝不大 也抓不到客户端求方便才用液体测漏 制造商是测漏仪加持压水层 腔体 组件后 试车后 可以这样测4轮才出厂不这样测 等到客户进件后 达不到真空度 就有的找原因了

以前做氦气测漏时，发现有气漏，也是用正压+肥皂水去抓哪里有气漏，问过测漏仪的设备商也说这方法是可行的。

焊真空法兰记得要从腔体内焊一圈，不行从外面焊(缝隙被留在真空腔体内)to h大：测漏仪就可以直接抓到漏点了，为什么还要再正压?

测漏仪只能帮忙锁定某个区段会漏气，不能很明显的知道哪个点，再加上要拍给客户看漏气的状况，所以才会用正压+肥皂水的方式。

有测漏仪可以直接抓漏点的吗？介绍一下吧

用测漏仪抽腔体，喷氦气去找漏点https://i.imgur.com/5AvdBbC.png

to:michaelgodtw 每一家的都办的到

用氦气或H2，表面会不会有痕迹？我们是铁件但要喷漆

to:michaelgodtw毫无痕迹 抓到漏会用签字笔画圈补焊

先排除腔体问题，马达直接接到真空表看看能不能达到指定压力，如果马达没问题再进一步去检查腔体

先找个测漏阀接上去喷氦测，半导体厂sop

看起来是铝真空腔，用焊接方式组装？