[讨论] 腔体抽真空，管径和时间的关系? pllywu0301 PTT批踢踢实业坊

[讨论] 腔体抽真空，管径和时间的关系?

楼主: pllywu0301 (宏宰) 2020-01-02 23:12:55

想请教各位，目前工作上要对一密闭腔体抽真空，想了解真空泵浦连接至腔体的管径大小
与达到目标真空度的时间是否能够用计算方式了解所需多少时间?
还有一个部份想了解一泵浦可以抽多少空间的腔体才会达到最大使用率，才不会浪费本身
泵浦的能力?
再烦请各位先进前辈指导，是否有参考资料或书籍能够解惑?
感谢大家回复

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-02 23:55:00

多高的真空?

楼主: pllywu0301 (宏宰) 2020-01-03 00:14:00

约10-4 torr左右

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-03 00:29:00

低真空范围，限制会是在pump，而非管径，设计不要把管径小于pump入口就好如果只要稍小于10-3 torr用一颗2-stage oil vane pump就可

作者: alpha008 (Evolution) 2020-01-03 04:14:00

-4 torr 一般的机械pump应该没办法达到

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-03 06:30:00

看用油的种类，有些可以到5*10-4

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-02 15:55:00

多高的真空?

楼主: pllywu0301 (宏宰) 2020-01-02 16:14:00

约10-4 torr左右

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-02 16:29:00

低真空范围，限制会是在pump，而非管径，设计不要把管径小于pump入口就好如果只要稍小于10-3 torr用一颗2-stage oil vane pump就可

作者: alpha008 (Evolution) 2020-01-02 20:14:00

-4 torr 一般的机械pump应该没办法达到

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-02 22:30:00

看用油的种类，有些可以到5*10-4

作者: lukawae (Hans) 2020-01-03 21:06:00

不会算的话看厂商型录最快再小的PUMP都可以抽很大的槽花多少时间而已小PUMP抽大桶最大PUMP抽小桶刚好我都用过了制程没要求那型录上的建议管径就是最直接有效率的

楼主: pllywu0301 (宏宰) 2020-01-04 06:55:00

感谢回复,看型录真的有我需要的资讯

作者: kodak (kodak ) 2020-01-04 19:28:00

SMC 真空吸嘴型录那有管径管长的计算公式

作者: kyng (中大费德勒) 2020-01-07 09:55:00

机械可达到10-5 torr

作者: tersefreitag (Q____Q) 2020-01-09 15:08:00

管径尽量不小于帮浦的进气口，弯头尽量少用减少管损帮浦的抽速看制程的时间来决定时间要快就选大的

三楼正解真空度不高管径随便配就好瓶颈在pump

楼主: pllywu0301 (宏宰) 2020-01-10 22:06:00

达到目标真空度的时间部份有办法估算吗?假设泵浦速率90m3/hr,针对90m3腔体处理要从1atm达到10-4torr,会需多少时间?

作者: FTICR (FT-ICR) 2020-01-11 00:29:00

帮浦的datasheet或说明书会有某体积下，时间对压力的关系

作者: dragon51 (夏天在高飞球结束了) 2020-01-30 19:28:00

小弟工厂在台中龙井，专职真空腔体/管路/零组件设计&制造，出厂前都会经氦气测漏仪检测，如有需求，欢迎连络！

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