各位板上大大们好，
小弟想在这里请问一下如果我使用一个标榜leak rate为10^-9 cc/s的阀门将
一个抽至10^-3 torr的chamber(体积1公升，铝材质)关起来后关掉pump，
那chamber 压力上升至5*10^-3 torr 的时间为多少?
我在手边的资料看到一个公式 :
t=c*(V/S)*ln(Pi/Pf)
t:pumpdown time, V:chamber volume, S:system pumping speed
Pi:initial pressure, Pf:final pressure
c: correction factor =
1.0 between Atm and 10 torr
1.5 between 10 torr and 5 torr
2.0 between 5 torr and 50m torr
4.0 between 50m torr and 1m torr
因此若直接代入这式子可以得到 :
t=4*(1000/10^-9)*ln(1/5)~6.44*10^12 s~20万年...
但这怎么想都不太可能，
请问有哪里遗漏的吗?
在这里先谢谢回答的大大