※ 引述《HTCOneE5566 (LongLiveFor5566)》之铭言:
: 各位大大好,
: 常常听到有人说fab端四大module就是超级屎缺,
: 怎么比也就是挑个没那么臭的来吃,
: 以EE来说常见的排名好像是 etch = litho > diffusion = thin film...
: 很少看到以PE的的角度来看,同为难兄难弟,排名也是差不多吗?
: 如果再细分module内如CVD、PVD、CMP等等,
: 有没有个屎度power rank可以排阿,颗颗。
赛不赛不是看机台吗
一般来说啦
ET=LT>DF=TF
DF有很爽的机台RTP 也有很赛的FUR 酸槽 操度FUR>IMP>RTP
不过怎么爽都不会比那些少数只顾RS SFSCAN之类的量测机台的爽啦