[请益] 请问关于plasama etch system的问题 ability0207 PTT批踢踢实业坊

[请益] 请问关于plasama etch system的问题

楼主: ability0207 (豪) 2016-03-24 22:27:23

1.同体积的He跟同体积的N2 价格差几倍
2.plasama etch system中常使用的
backside He system中的He可否用N2取代
是因为N2会跟Si反应吗
还有其他比较便宜的gas可以取代吗
有没有经济效益 cost down有没有搞头呀
小弟无知异想天开请各位先进指教
谢谢

作者: melzard (如理实见) 2016-03-24 22:29:00

He是惰性气体 N2在某些制程中可是会用作蚀刻气体的要是发生leak现象对wafer有什么副作用你无法预测监控

作者: santorini (圣托里尼) 2016-03-24 23:21:00

先搞清楚etching的原理你就知道气体不是可以随便换

作者: Forehand (正手) 2016-03-24 23:47:00

He冷却效率比较好，不能换N2

继续阅读

[请益] 力成产品工程maxinhome [情报] 捡到识别证lucky72 [讨论] 南神教材料厂可行吗？qq741953 [面试] 请问信得技术顾问howhowhow [请益] 关于衡宇shellyq [征才] Asurion 亚胜通讯_手机专家技术客服oooooh [征才] 宇清数位智慧诚征大数据分析系统工程师NOKY [请益]代po 请问康宁OPRBC54321 Re: [请益]没有面试机会，求解rick030215 [请益] 奕力科技暑期实习 IC布局工程师面试ab091091