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论文名称: 改善氮化钛阻障层与钨插塞之化学气相沉积制程 以降低其电阻率之研究
研究生: 林仲凯
指导教授:潘 扶 民
校院名称:国立交通大学
系所名称:工学院半导体材料与制程设备学程
网址:https://ir.nctu.edu.tw/handle/11536/74165
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