旋转式Powder ALd是借由
旋转方式让粉末飘起来
再借由前驱物的化学反应
让粉末表面镀上一层薄膜
如图所示
https://i.imgur.com/h0Q88vh.jpeg
为何腔体内壁要设计成凹凸不平的样子？
请问这样子有什么好处？
如果可以的话，拜托提供相关原理的文章或是论文
拜托各位大大