还好吧
设备仔哪懂什么flow阿
连机台recipe都不知道在干嘛
只知道wafer传输路径跟机台机械作动吧
拍了卡通图能干嘛
几千道制程 几万种参数
建得了recipe吗
除非是详细的flow 有每一道的recipe
但通常recipe名字都会故意加密或是modul自己乱取
也很难知道recipe内容到底是啥
而且又一堆不同设备厂商
每个设备商对每道制程都有小秘密
没这么好学啦