半导体突破奈米 成大低成本研发埃米受瞩目
2024/07/23 10:25
〔记者洪瑞琴／台南报导〕目前半导体制程主要是奈米等级，但产业界持续朝向更微小的
“埃米（奈米的 10 分之 1）”推进，国立成功大学材料科学及工程学系助理教授徐邦昱
团队利用自行组装的设备，发挥车库创业精神，让细小的半导体分子能自动整齐排列在奈
米沟槽内，可操作精度达到埃米等级，这项成果已发表在国际期刊，受到国际瞩目。
研究成果发表在国际高分子领域的一流期刊 Macromolecules。团队最自豪的是学生们靠
著自行组装的便宜设备，研发最先进的技术。徐邦昱表示，在研发的过程中需要用到许多
先进仪器，但动辄上千万元，在工学院与材料系的支持下，学生们以较少经费、自行动手
组装设备。
团队成员包括材料系硕士生，杨永平、何承泰、黄宇瀚及许子承，整个实验室里都是自行
组装的设备，像是结合极低温、微拉曼散射与可见光吸收3个系统的设备，市面上根本找
不到，即使有机会买到也要上千万元，但团队花了200万元就组装出来，而先进制程需要
用到的无光罩雷射微影系统，市售价格600到1000万元，团队则是花了20多万元就组装出
。
徐邦昱表示，目前半导体制程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透过高真空
磊晶设备控制长出晶体，再蚀刻提升精准度，要让细小的分子乖乖听话，长在该长的地方
，很不容易，因此才需要价格昂贵的设备，营造洁净单纯的反应环境。目前已达到小于3
奈米（10亿分之1公尺）的线宽精度，但持续推向埃米（10 埃米等于 1 奈米）精进，是
产业的必然，目前大家都在努力中。
徐邦昱说明，这项研究成果广受国际注目的原因，在于打通了埃米级操作分子的多项技术
瓶颈，成功地大面积量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制复杂的分子间交互作用行
为，克服过往认为不可操作的分子运动，将材料的操作精度推进至埃米尺度。
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