晶圆厂石英炉管震破 1套相当1部奔驰车价格
〔记者洪友芳／新竹报导〕花莲强震，冲击北中南半导体各晶圆厂石英炉管纷传出被震破
，更换石英炉管与石英相关产品需求大增。供应链传出，台积电、联电、美光等晶圆厂，
向供应商拉货石英炉管，甚至有的自派车辆前往石英厂载货，显见晶圆厂急迫与唯恐缺货
。而高阶石英炉管单价达400万元，相当于一部奔驰进口车价格，业界估计，石英炉管震
破，里面装载上百片晶圆也常会跟着破损，石英炉管震损将使营运成本增加。
4月3日花莲发生芮氏规模达7.2地震，为过去25年来最强的地震，新竹、龙潭和竹南等科
学园区最大震度达五级，台中和台南科学园区的最大震度为四级。半导体业指出，此次对
北中南半导体生产制造多少都造成影响，越往北越严重，竹科、桃园晶圆厂与封测厂纷受
到影响，8吋、12吋晶圆厂与部分封测厂震损相对严重。
供应链传出，半导体业晶圆厂，从地震发生后，因无尘室扩散制程的石英炉管被震破，纷
向供应商拉货石英炉管，石英晶舟、石英环等元件也损坏，需要清理与更换，平常久久才
更换却突然需求激增，甚至有的自派车辆前往石英厂去载货，显见晶圆厂需求孔急与唯恐
缺货。
供应链指出，石英元件相当贵，“一套高阶石英炉管单价达400万元，相当于一部奔驰进
口车价格”，业界估计，晶圆厂震损也将多少增加营运成本。
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