[请益] 半导体 薄膜量测仪器

楼主: asd9 (asd9)   2024-01-07 14:07:38
请问各位做半导体的先进
薄膜制程中,量测厚度的仪器
一般测厚仪 ,是用X-ray 和α step是吗?
金属(Ni/Cu...)和非金属(SiO2、光阻)用的量测仪器有不同吗?
国内有那些推荐的厂商?
谢谢帮忙告之!

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