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运送护国神山晶圆 一天可绕地球20圈
2023-09-04 05:18 经济日报／ 记者李珣瑛／新竹报导
半导体晶圆制造制程繁复，但每一盒装满25片12吋晶圆承载盒重约10公斤，无法靠人力搬
运至每一道制程工作区，更何况每天要处理成千上百盒晶圆。在晶圆厂天花板运行的“天
车”扮演承载晶圆至每一道制程完成处理的关键载具，光是台积电厂区内的天车一天行走
距离就可以绕地球20圈。
少了“天车”协助承载晶圆，台积电、联电、三星等大厂的晶圆厂生产等于要停摆，由于
晶圆价值高，对天车的稳定度及可靠度也要求极高，一旦发生塞车、坠落事故，单一损失
动辄就数千万甚至数亿元，不容小觑。
根据台积电统计，2021年时，台积电的晶圆厂内天车一天行走的总距离就可绕地球20圈。
这个距离大约等于从台湾最北端至最南端走2,000次。随着新厂陆续加入营运，台积电天
车的数量增加，未来累积的距离将愈来愈长。