中芯7/5奈米绕道触碰敏感神经 梁孟松领军不放弃先进制程
中芯先进制程近年来遭美国政府卡脖，也使得中芯不再高调，14奈米以下进展极为机密，
不过，可观察的是，只要梁孟松等团队在中芯，领军半导体国家队的中芯，对于先进制程
就绝对不会放弃。
近日针对MinerVa新品矿机采用中芯7奈米制程生产，消息一出也引发各方关注，皆相当疑
惑没有ASML的EUV设备支持，中芯如何实现7奈米制程量产且产品上市目标。
中芯在梁孟松于2017年10月加入后，所带领的团队加速推进研发实力成绩显著，2019年高
调宣布中国14奈米FinFET制程已研发成功，此为先进制程布局三阶段中的首阶段，第二阶
段则为12奈米制程技术，预计在2020年上半开始贡献营收，第三阶段则是第二代FinFET制
程(N+1技术)，当时希望2020年实现小规模生产。
据梁孟松先前表示，N+1制程相当于台积电的第一代7奈米制程，而持续研发的N+2制程，
则相当于台积电的7奈米EUV强化版制程。
值得注意的是，梁孟松曾表示，N+1、N+2制程都不会采用EUV技术，待设备就绪之后，N+2
之后才会全面转进EUV微影制程世代，此也被业界认为此策略仿效台积电7奈米与7奈米EUV
世代作法。在国家倾全力扶持下，中芯对于14奈米及后续制程推进度相当乐观。
然而，美中贸易战扩大为半导体科技大战后，有着华为在前惨痛卡脖范例，肩负中国半导
体自主大计的中芯，行事作风也转趋低调。
事实上，中芯不仅已遭美方列入先进制程半导体设备材料出口管制实体清单，当时也禁止
10奈米制程以下美企设备出货予中芯，10奈米以上设备销售则须审核批淮，拜登政府延续
川普时期的策略，持续收紧与严控中国半导体产业链发展，此也对于中芯或是华虹等产业
链带来极大压力，也因此，中芯行事作风收敛，制程发展也不再全面公开。
自2020年第2季起，中芯改变了各制程营收贡献度的形式，原本分别列出的14与28奈米，
改为合并揭露，因此看不出14奈米的贡献，此外，在2022年第1季财报中，更是全面未披
露各制程节点营收贡献度数据，改为并无太大参考价值的8吋与12吋晶圆的营收贡献度，
此举也被认为持续发展且有成绩的中芯，不想再踩美方红线，以避免又遭箝制。
与其他晶圆代工大厂一样，2020、2021年大享产能供不应求荣景的中芯，相较各厂，对于
扩产与制程推进则是相当低调，让外界认为中芯就在28奈以上制程稳稳赚就好。然而，近
日的一则未经中芯证实的7奈米代工消息，恐将再度触碰美国政府敏感神经。
据研究机构TechInsights最新拆解报告发现，MinerVa Semiconductor新品矿机的SoC，采
用中芯7奈米制程，新机并已全面上市。进一步分析指出，中芯采用的是应用N+2制程技术
，等级如台积电7奈米强化版。也让不少人认为，没有EUV设备的中芯，N+2制程竟也能达
到台积电的7奈米EUV强化版水平。
事实上，台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚于2021年底就曾直言，尽管在多方箝
制下，中芯的技术至少可做到5奈米应没问题，不一定非得要用高阶昂贵的EUV设备技术才
能实现，此番言论也打破外界认为中芯在28与14奈米奈米止步的预测。
半导体业者也表示，DUV机台多用在成熟制程芯片生产，但先前三星、台积电也都有用在7
奈米制程世代，透过DUV的193奈米浸润式ArF微影生产。台积电数年前就表示，7奈米制程
于2018年4月正式量产，第二代7奈米(N7+)技术于2019年上半量产，为业界首个商用EUV制
程技术。
但中芯若想迂回以DUV多重曝光，来达到与EUV的13.5奈米波长等效，在整体成本与良率上
将付出高昂代价。
不过如林本坚所言，尽管制造困难与成本过高，中芯愿意付、也付得起，只要能量产就是
一大成功，规模大小是另一回事，因此中芯即使在没有EUV设备下，推进至5奈米应该还可
以，然此钜额研发支出能撑多久，本土手机、AI芯片厂谁会大量采用都是问题。
现阶段在美方严控下，中国半导体自主推进之路不时就将卡关，以ASML来说，虽是荷兰企
业，但光源来自于美国Cymer，光学模组来自德国蔡司，计量设备来自美国，关键零组件
来自多国供应链采购，除了台积电外，ASML算是也身不由己的企业。
半导体设备业者就表示，除了台积电是大家的衣食父母外，中国半导体产业早已全球前十
大设备甚至所有设备材料厂的最大市场，美国政府可以箝制中芯等业者，但手段太过激烈
，除了引发全球政经动荡剧烈外，恐将适得其反，毕竟，众多设备材料产业链都是美国大
厂所掌控，众厂产品无法出口中国，营收恐将大跌。
中国发展半导体自主技术与国产化的意图强劲，但在目前的箝制下，数年应也难进入先进
制程战局。断了中芯等中国大陆的EUV与DUV供应，实也断了中国的晶圆自主制造目标，但
也断了全球半导体设备材料产业链的庞大商机。
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