撇除五大设备商 ASML APPLIED TEL Lam KLA
还有哪些规模没这么大 但技术跟机台在某个制程或领域很独占的vendor?
像是DNS 洗净clean一哥
NOVA 以色列量测vendor
ASM 前ASML母公司 EPI, CVD, ALD为主力机台
IMS e-beam writer 制作光罩的vendor
Kokusai Electric 好像炉管很多都这家的? 之前被APPLIED并购没成?
Mattson RTP, strip, etch都有
Hitachi 日立先端 记得有dry etch 还有CD SEM, defect检测机台
Lasertec 光罩检测vendor
PSK 好像是strip, dry clean为主
ULVAC 只知道有PVD机台
EBARA 只知道有CMP机台
还有哪些比较低调的设备商呢?