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2021-12-04 21:49 联合报 / 记者戴瑞芬╱即时报导
肩负大陆突围“卡脖子”的自研28nm光刻机，上海微电子今年8月完成技术检测和认证，
透露将在2021—2022年交付。不过，陆媒IT之家报导，11月26日在青岛正式投产的富士康
集团第一座晶圆级封测厂，已经率先出手，引进上海微电子多达46台的大陆国产28nm光刻
机。
上海微电子自主研发设计的是大陆首台国产28nm浸没式光刻机。大陆因为光刻机技术和人
才不足，无法制造高端光刻机，美中贸易战后在科技设备和高端技术被“卡脖子”，因此
倾国家之力实施科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目（又称02专
项），研制成功国产90nm光刻机。
上海微电子自研的大陆国产28nm光刻机，8月完成技术检测和认证，也意味大陆国产光刻
机从90nm一举突破到28nm。
不过，大陆国产28nm光刻机的射频芯片、蓝牙芯片、功放芯片、路由器上的芯片、各种电
器的驱动芯片等非核心逻辑芯片，仍采用28~90nm制程。
11月底富士康青岛封测厂正式投产，这是富士康第一座晶圆级封装测试生产线启动，项目
进入到运营阶段。
IT之家报导，值得一提的是，有消息称这所半导体封测厂所用的光刻机设备采用上中国光
刻机龙头上海微电子（SMEE）28nm光刻机，国产光刻机将从此前的 90nm一举突破到 28nm
制程，同时对于降低国外市场依赖有重要意义。
大陆自媒体火以进一步透露，28nm国产光刻机被富士康率先出手，收入囊中，重点是引进
设备累计数量多达46台。透露富士康青岛半导体公司的主要业务，未来将会用扇出型封装
和晶圆键合堆封叠封装技术，面向5G技术、人工智能等行业推出相关产品。而富士康青岛
封测工厂，同时也拥有全自动化搬运、智慧化生产等高端设备。