台积电南科18A厂惊传制程出包 部分产线停摆
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2021-07-30 10:00 联合报 / 记者简永祥／即时报导
台积电先进制程的南科18a厂，昨（29）日晚间惊传制程出状况，部分产线停摆，今日上
午供应商全数被挡在厂区外，供应链透露，应是氧气供应受到污染，由于牵涉制程相当广
，台积电自昨晚至早上止，已忙成一团。
台积电今日证实有部分来自厂商供应氧体疑似受到污染，已即时调度其他气体供应，此现
象对产线并无造成显著影响，芯片仍正常生产。
不过从供应商被挡在门外，且消息传出今日12时台积电18厂将举行生产会议 ，确实生产
受到影响。
半导体业者表示，半导体制程高达700多道，约有270道需使用氧气，涵盖蚀刻、物理及化
学研磨，几乎都是核心制程，且台积电18a又是目前台积电最缺进5奈米核心制程，目前生
产项目又是苹果下世代5G手机要用的核心处理器和超微新一代处理器，此刻发生氧气受到
污染，恐怕是直中台积电要害，但预料台积电也会全力排除相关问题，尽速让产线恢复，
只是详细影响，有待台积电进一步说明。