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中国拟进口二手光刻机 核心材料依赖进口
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图为中央处理器制造商AMD公司员工手持生产的芯片。(Getty Images)
【大纪元2020年10月01日讯】（大纪元记者李净综合报导）中国大陆一家高技术公司近日
拟进口一台二手光刻机，令该公司股价大涨，还带火了整个板块。不过，中企即使拥有了
光刻机并不意味着就解决了断“芯”困境。
9月29日，晶瑞股份早间发布公告，该公司拟进口韩国SK Hynix（SK海力士）的ASML光刻
机设备，总价款为1,102.5万美元，约合人民币7,523万元。
另外，晶瑞股份也披露了其拟发行不超5.5亿元人民币可转债，用于集成电路制造用高端
光刻胶研发等项目、补充流动资金或偿还银行贷款。受该消息影响，晶瑞股份股价上涨
19.99%。
《证券时报》报导，晶瑞股份此次拟购买的光刻机并非可生产5nm、7nm芯片的先进EUV光
刻机，且后续仍存交货等不确定性因素。
晶瑞股份方面表示，现在光刻机设备并不好买，公司并不是直接购买ASML的光刻机设备，
而是通过代理商购买韩国SK海力士的一台ASML二手光刻机设备。其购买的光刻机类型是
ASML的1900型号的光刻机。
晶瑞股份是一家微电子材料的平台型高新技术企业，围绕泛半导体材料和新能源材料两个
方向，其子公司苏州瑞红为大陆光刻胶领域的先驱。
中国高端光刻胶依赖进口
光刻机的核心材料是光刻胶，中国对于高端的KrF、ArF光刻胶主要依赖于进口。
据晶瑞股份在可转债发行可行性分析报告中披露，所研究的光刻胶项目，技术指标和工艺
性能满足45~14nm集成电路技术和生产工艺要求。即该公司所研究的光刻胶项目，产品最
高可用于14nm芯片生产。
光刻胶是国际上技术门槛最高的微电子化学品之一，是半导体集成电路制造的核心材料。
光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。
半导体用光刻胶市场上主要使用的光刻胶包括g线、i线、KrF、ArF四类光刻胶，其中g线
、i线光刻胶主要用于6英寸芯片的集成电路制造。晶瑞股份的i线光刻胶产品已供应中芯
国际使用。
中芯国际遭制裁后 进口光刻机高端改低端
目前，主流前道光刻机主要分为i line光刻机、KrF光刻机、ArF光刻机、ArFi光刻机和
EUV光刻机，其中技术含量最高、价格最贵的当属EUV光刻机。不同型号的光刻机，使用配
套的光刻胶。
中芯国际于2018年向荷兰ASML订购了一台最新型的EUV光刻机，价值高达1.5亿美元，原计
划在2019年初交付。不过，由于受到美国的限制，这项交易至今仍未完成。
今年3月，中芯国际从荷兰进口的大型光刻机进入深圳厂区。但是，到货的是低端DUV光刻
机，而不是之前购买的EUV光刻机。
中共掀起“芯片大跃进”
近期，中共在全国掀起了一场芯片企业投资狂潮，欲倾全国之力投资芯片产业，并在税收
、IPO和贷款方面给半导体企业“开绿灯”。
大陆媒体的报导显示，截至9月初，中国大陆已拥有了138,000个注册的芯片设计公司，其
中大多数是近期成立的。各路利益集团盯着这个政策红利，争取政府的补贴。
大纪元评论员谭笑飞认为，中国没有高端芯片产业，不是钱的问题，也不是人的问题，而
是中共官僚体制的问题。现在中国但凡高端一点的东西都依赖进口，基础产业极其薄弱，
没有工业体系可言。这是中共官僚体制的恶果，而且冰冻三尺非一日之寒。
责任编辑：李穹#