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[请益] cryopump回温问题

楼主: andy82617 (andy)   2018-10-16 23:52:50
想请问cryopump回温的方式？
是应该让cryopump做regen后，等到1、2阶温度都回到正常温度，在关掉regen吗？
还是可以点purge就可以让cryopump正常回温了？
因为查询原理后，对于回温这个动作，不太知道怎么操作，在麻烦板上的各位解答，谢谢
。
作者: air0909 (该走了由~~~)   2018-10-16 23:57:00
没说明书 没客户可问吗？相信乡民是对的也…客服
作者: jason316 (Justin)   2018-10-17 00:02:00
做regen 才能回温阿
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