应用材料公司欢庆 Produce平台20周年纪念，Produce平台出货量高达5000台；这套制造
系统协助制造全球几乎所有的芯片，也就是说，目前全球几乎所有电脑芯片，都是使用
Producer平台制造。
Producer平台于 1998 年 7 月推出，借由将芯片的金属层配线由铝改为更理想的导体─
铜，协助芯片加快执行速度。
应材表示，Producer平台自 20 年前上市以来，已经处理过19亿平方公尺的硅晶圆，面积
相当于30个美国纽约曼哈顿的大小，目前可支援从 180奈米 到 5奈米的 10 个技术节点
。
20 年来协助推动各项业界技术转折，其中包括铜、应变工程、高介电金属闸极、FinFET
及 3D NAND；现今 Producer 平台能够专门配置组合，以因应摩尔定律不断增加的挑战。
这项转变能协助业界提升并改善与摩尔定律有关的效能及功耗，然而其中也需要许多额外
的步骤，可能导致其成本过高而难以负担。
为了提供协助，应用材料公司致力精进Producer 平台的每一项要素，让客户能以最低的
营运成本享有最高效能。
自此 Producer 平台成为业界主力，承担了更多的工作任务，协助摩尔定律的推动，并促
使诸如笔记型电脑、智慧型手机及可穿戴电子装置等的电子产品更加普及。
现今Producer 平台持续协助芯片制造商以全新方式构想及打造芯片。恭贺应用材料公司
对半导体产业推出最重要的制程系统之一 。VLSI研究公司执行长 G. Dan Hutcheson 表
示，应用材料公司推出划时代的 Producer 平台，以此规模实现前所未见的成果，建立能
支援多代技术的高度弹性架构，并仍维持惊人的生产力。
Producer 平台原先是专为执行化学气相沉积的单一制程系统，并成为业界标竿。这些年
来，应用材料公司不断扩大平台的技术功能，包括蚀刻、选择性移除及薄膜处理技术。现
今愈来愈多材料濒临传统摩尔定律微缩的物理极限。
有鉴于此，应用材料公司跳脱元素周期表，率先发展之前很困难使用却有助于持续改进晶
片效能与功率的全新材料。
Producer 平台正突破新挑战，现今这平台可以做为一套整合式制程平台，也就是在同一
套真空系统中，提供诸如沉积与薄膜处理、沉积与蚀刻，或者是沉积与选择性移除的多种
组合。（吴秀桦／台北报导）
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