有关CMP的机台~ KAEDA PTT批踢踢实业坊

楼主: KAEDA (零秒出手) 2018-03-16 14:05:36

请问为何CMP的机台都在Fab角落或是边边角角的地方?
有些Fab甚至连CMP的区域都有独立隔间,
几乎没见过像是T/F,Etch那种散落在Fab各区的~

作者: plocer (ff) 2018-03-16 14:14:00

不懂问这个要干嘛??? 羡慕CMP?认真回答你...CMP因为机台需要供应Slurry!总不能机台散落FAB各个区域然后要厂务拉管拉的到处都是..

作者: jack21205 (仇笑痴) 2018-03-16 14:35:00

认真回你，太脏Residue embedded scratch 全都HL CMP就对了

作者: javis3021 (javis_hung) 2018-03-16 15:23:00

粉尘重啊，有无尘跟没无尘一样

作者: prsb (快转量产吧～～) 2018-03-16 15:47:00

想一下CMP的用途，还有查slurry成分，应该就有底了

作者: sages (欠你钱) 2018-03-16 15:48:00

不要害厂务啦管跑来跑去的很麻烦唉

作者: agod2005 (~大头~) 2018-03-16 16:40:00

认真回你太脏，汤汤水水怎么能和真空器材放一起

作者: deltarobot (翻出来比大只小只啊) 2018-03-16 17:37:00

Emb先嗨赖TF吧

作者: ctainan (小银回来了) 2018-03-16 18:06:00

Ebara 宣称 dry-in - dry-out, 真的这么神吗?

作者: GUNDAM (钢普拉) 2018-03-16 18:27:00

很早前两大CMP商的机台就dry in dry out

作者: angerenergy (Mars) 2018-03-16 22:13:00

就算没有完完全全dry out 那也是锁在foup 里啊 Ebara算不错了啦

作者: bbbcccddd2 (没人要的) 2018-03-17 03:22:00

豆豆磨来磨去……让我想起这首广告歌

作者: FK6819 (恨情人) 2018-03-17 21:45:00

因为CMP脏，对就是那种脏！

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