楼主:
KAEDA (零秒出手)
2018-03-16 14:05:36请问为何CMP的机台都在Fab角落或是边边角角的地方?
有些Fab甚至连CMP的区域都有独立隔间,
几乎没见过像是T/F,Etch那种散落在Fab各区的~
作者:
plocer (ff)
2018-03-16 14:14:00不懂问这个要干嘛??? 羡慕CMP?认真回答你...CMP因为机台需要供应Slurry!总不能机台散落FAB各个区域然后要厂务拉管拉的到处都是..
认真回你，太脏Residue embedded scratch 全都HL CMP就对了
作者:
javis3021 (javis_hung)
2018-03-16 15:23:00粉尘重啊，有无尘跟没无尘一样
作者:
prsb (快转量产吧～～)
2018-03-16 15:47:00想一下CMP的用途，还有查slurry成分，应该就有底了
作者:
sages (欠你钱)
2018-03-16 15:48:00不要害厂务啦 管跑来跑去的很麻烦唉
作者: agod2005 (~大头~) 2018-03-16 16:40:00
认真回你太脏，汤汤水水怎么能和真空器材放一起
作者: deltarobot (翻出来比大只小只啊) 2018-03-16 17:37:00
Emb先嗨赖TF吧
作者: ctainan (小银回来了) 2018-03-16 18:06:00
Ebara 宣称 dry-in - dry-out, 真的这么神吗?
作者:
GUNDAM (钢普拉)
2018-03-16 18:27:00很早前两大CMP商的机台就dry in dry out
就算没有完完全全dry out 那也是锁在foup 里啊 Ebara算不错了啦
作者:
FK6819 (恨情人)
2018-03-17 21:45:00因为CMP脏，对就是那种脏！