领先全球！台科大让2500万支奈米管 阵列0.5平方公分硅晶圆
〔记者吴柏轩／台北报导〕
奈米世界受限于材质与制程，要把细微材质“排列整齐”，是学界梦想，如今美梦成
真！台湾科技大学师生团队采用金属玻璃材质，成功制造出奈米级材料，能在0.5平方公
分的世界中将2500万根管子列队整齐一致，让生物检测芯片的检测更精准，提升生医领域
发展，也不排除运用于太阳能光电。
台科大研发长、材料系教授朱瑾说，过去奈米材料多用碳质或是陶瓷氧化物等，但制
造出来的奈米世界经常杂乱无章，若要特地将奈米材料排列整齐，制造过程就很困难，毕
竟奈米材料用电子显微镜放大几十万倍都很难看到，制造出来的东西也会单价太高，不符
成本使用。
但台科大由材料系教授陈建光、朱瑾和应科所教授郑智嘉，以及硕士生陈威廷、博士
生游家齐等人组成团队，投入新式奈米材料研发，运用台积电、联电等半导体制程技术，
以金属玻璃材质，制造出全球首次成功的金属奈米管阵列，在0.5平方公分的晶圆上，排
列了超过2500万支的奈米管，列队整齐划一。研究团队将成果发表成论文，获刊登于顶尖
国际期刊“今日材料”《Materials Today》。
朱瑾说，新的做法不仅让奈米材料制程更加便宜，更重要的就是“整齐”，整齐便能
让奈米材料做到更多事情，目前将运用在生物传感芯片上，比过去的芯片，提供更加细微
的检测数据，也提高准确度，有助医生进行病人的疾病快筛，其他运用也包含如空气污染
物PM2.5的检测，且该材质也能吸光，也不排除未来在太阳能光电上的运用与发展。
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(自由时报 2017/12/05)