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台积电中科扩建案环差环评通过 明年展10奈米成果
〔记者杨绵杰/台北报导〕以台积电18吋晶圆厂为主要开发标的的中科台中园区扩建开发
案,今于环评大会通过,这将为台积电在10奈米制程技术龙头地位上,保有与英特尔及三
星等国际大厂竞争空间。台积电资深处长庄子寿形容审查通过为“吃下定心丸”,并预告
明年就能让大家看到成果。
扩建用地目前仅有台积电进驻,砸下大约5000亿将发展10奈米至7奈米制程,原开发案就
已历经环保署4次环评大会,于去年2月通过环评,当时结论提到可能使用或排放的化学物
质有152种,经危害确认后具毒理资料可纳入健康风险评估有36种,不过台积电在园区第
一个厂完工启用时提出化学品项目数量环差,将内容变更为化学物质有182种,纳入健康
风险评估是32种。
虽有环团出席强烈反对,但台积电允诺除了化学品涉及到商业机密,无法公开,其他包括
空、水、废等污染排放情形都愿意公开,因此决议也要求中科局未来要定期检查及不定期
抽验厂商化学品使用查核及空、水、废等污染排放情形,并作成纪录留存,且空、水、废
等污染排放情形应应于中科局网站对外公开,涉及自动连续监测结果更应即时公开,全案
宣告通过环差。
代表台积电出席的庄子寿会后说,为了发展10奈米相关制程,3年前就已开始准备资料,
环差能够顺利于大会通过,台积电像是吃下定心丸,不过量产时程关系到商业机密与客户
资讯,目前不能对外透露,但庄子寿也说,希望2017年就能看到10奈米发展的成果。
(自由时报 2016/12/28)