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台积尬三星 5奈米明年动工
2016-11-25 00:44:44 经济日报 记者江睿智／台北报导
攸关台积5奈米先进制程布局的南科环境影响差异分析报告案昨（24）日通过专案小组审
查。台积电表示，台积5奈米制程将在明年动工，计画在2020年量产，迎战三星。
南科第一期和第二期环评分别于1996年及2003年通过，因台积电和联电更新半导体制程，
须增加用水用电量，依规定须办理环差变更，环保署昨日召开南科环境影响差异分析报告
专案小组第三次审查会议。
南科管局长林威呈昨天出席作简报，包括台积电和联电都派代表参加，台积电副处长陈锵
泽特地向环评委员及环团解释半导体制程为何快速更新。他说，半导体产业技术根据
Moore's Law，持续推进缩小积体电路线宽，以制造更节能、更环保的产品，约每两年增
加一倍电晶体数目，每18个月芯片效能提升一倍。
他举例，5奈米晶粒是28奈米的14%，且单位晶粒生产用电用水量分别是28奈米的43%及37%
，因5奈米的产品技术门槛高，市占率及单位产值亦将随之成长。台积电和三星竞争早已
从10奈米订单往前延伸到未来新制程，台积必须进入5奈米制程，若能通过环差审查，5奈
米制程预计明年就可动工。
因更新制程，南科每日增加5万吨用水量、70万千瓦用电量。林威呈表示，南科承诺未来
将采用1.25万吨的永康再生水、及园区2万吨工业回收再生水，将在南科环三用地上设置
再生水厂。