台积电中科十奈米晶圆厂环差 专案小组：送环评会
〔记者陈炳宏／台北报导〕
中科台中园区扩建基地（大肚山弹药分库用地）今天进行环差影响评估报告结论变更
审查会议，除开发单位中科管理局针对环团、环评委员各项质疑一一答复外，进驻的厂商
台积电公司代表，也针对目前实作且领先国际的十奈米制程，详细说明各项革命性污染防
治处理，最后专案小组以结论针对审核修正通过，送交环评大会。
此次环差报告主要是因，台积电运作化学物质与危害性化学物质项目与数量调整，所
以需要修改原环评说明书；其中管道排放物质清单，虽由原来152种增为182种，但经危害
确认后，具毒理资料可纳入健康风险评估的物质，从原评估36种减少为32种；Group 2B以
上致癌物由原有乙醇、乙醛、砷、镍四种，因制程改变的关系，变为砷、镍、二氯甲烷、
三氯甲烷、及钴化合物。
专案小组在结论中指出，本次变更营运阶段使用的化学物质项目与数量，目前的健康
风险评估分析方法与步骤，大致符合健康风险评估技术规范的内容，不过须再补充增减运
作或衍生化学物质检测来源浓度（含己测图谱），以及暴露剂量、致癌、非致癌风险及风
险管理对策。
另外，结论中也要求，变更后放流水致癌风险及非致癌风险较变更前增加，应纳入会
中讨论所提钴、显影剂TMAH（氢氧化四甲基铵）处理回收设施等风险管理策略。
科技部中科管理局局长陈铭煌表示，此次台中园区扩建基地，范围主要位于东大路旁
的军方大肚山弹药分库用地，面积约53.08公顷，进驻厂商仅台积电与巨大机械，其中台
积电面积约32公顷，此次采用领先世界的十奈米制程，规划先兴建二座十二吋晶圆厂，其
中第一座已完工，目前工厂二十四小时运作中；第二座也已上梁。
陈铭煌指出，另一家进驻厂商为巨大机械，面积约1.56公顷，预计设立全球营运总部
、研发中心以及自行车博物馆。
陈铭煌说，中科台中园区扩建基地原为104年2月6日通过，但因台积电原先针对二十
八奈米制程所提的环评报告，与后来十奈米制程采用更先进的技术，产生的化学物质项目
与数量与原说明书不同，所以申请变更。
http://news.ltn.com.tw/news/business/breakingnews/1875465
(自由时报 2016/11/03)