[请问]关于半导体类的sputter制程靶材 icurious PTT批踢踢实业坊

楼主: icurious (冲) 2015-01-03 22:13:51

不晓得在这个板是否有人知道，在半导体制程中PVD制程里的靶材要去哪家公司
购买呢? (ex : Au ,Ag ,In, Sn, Pt , ITO ,或是一些混合比例的靶材，如GaAs)
因为所需的量不大，只是小实验室等级需求，所以还请
友知道这方面讯息朋友分享，谢谢。

作者: violin20599 (沁) 2015-01-03 22:20:00

高敦?

作者: raylo (阿睿) 2015-01-03 22:23:00

Google一下，满多的

作者: pttresident (三省吾身) 2015-01-03 22:25:00

升美达?

作者: Narcissuss (太神拉~) 2015-01-03 22:39:00

高蹲不是卖靶材的升美达

作者: jenhong80625 (yaya) 2015-01-03 22:47:00

光洋应材或许有

作者: andy1120 (HunterAndy) 2015-01-03 22:51:00

铱光、铨科、嘉值企业是目前有买过的，google 溅镀靶材

作者: marybrian 2015-01-03 23:09:00

帷晶

作者: z44447777 (lancer) 2015-01-03 23:29:00

升美达+1

作者: faithjpk8213 (宅是一字跟我一世) 2015-01-03 23:34:00

铨科+1

作者: allan0803 (小伦) 2015-01-04 07:06:00

可以问问看优美科光洋应材新辅科

作者: five1502 2015-01-04 12:01:00

顺便借问一下Shielding跟Dome作用是什么呀@@

作者: maikxz (超级痛痛人) 2015-01-04 12:11:00

买过贵金属的，邦杰比升美达便宜一点

作者: longjer (龙蛇) 2015-01-04 13:01:00

罡鼎韦斯

作者: Narcissuss (太神拉~) 2015-01-04 13:11:00

尾司跟依光超贵感觉他们是跟别人叫货

作者: mar0330lee (eric) 2015-01-04 13:29:00

光洋科有在卖，要注意靶材有分平面靶跟旋转靶

量不大用借的就好了再贴钱给他(对方老板同意)

作者: x1225088 2015-01-05 00:12:00

光洋应用有卖....

作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2015-01-05 09:58:00

我看过铜靶材用日立的。

作者: juangpeiyi (给还没有遇见的你) 2015-01-06 18:07:00

升美达伟斯咕狗很难吗

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