[请益] 离子枪用于PVD设备 shimizu PTT批踢踢实业坊

楼主: shimizu (清水) 2014-12-13 00:13:25

请教一下
小弟最近刚接触科技产业
拜访一家在做光学镜头的公司说是采用PVD设备再搭配离子枪辅助
在玻璃上沉积
那一般半导体制程在晶圆的薄膜沉积也会用到PVD
里面也有离子枪吗??
谢谢!!

作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2014-12-13 00:24:00

没有

作者: nick00233 (Nick) 2014-12-13 01:16:00

作者: id49528013 (米虫) 2014-12-13 01:39:00

离子枪好像也可以用在蒸镀机？

作者: pinkowa (pinkowa) 2014-12-13 01:46:00

电浆<--- 溅镀机

作者: hmtsung (--HUGO--) 2014-12-13 16:29:00

ion-Gun是助镀用的，让膜更结实，品质更好，不过要调参数

楼主: shimizu (清水) 2014-12-13 21:41:00

所以半导体制程PVD有ion-Gun吗?? 有大大私底下回信说有

作者: Swiss1003 (来杯咖啡) 2014-12-13 21:50:00

公司在南科吗?

作者: fffkinyo (蒜头) 2014-12-16 12:59:00

雷射蒸镀

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