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ASML再获台积电EUV订单
2014-11-24 经济日报 记者简永祥╱即时报导
全球半导体微影技术领导厂商艾司摩尔今日在伦敦举行法会宣布,达到成本效益的新一代
极紫外光(EUV)微影设备,已正式量产,并接获台积电抢下二台订单,订明年出货,为
台积电制程推进至10奈米以下取得关键的门票。
这也是艾司摩尔投入研发EVU机台的重大突破,同时是艾司摩尔10年来首次公开擘划公司
成长策略艾司摩尔信心满满指出,未来六年,将是ASML营收跃升的黄金六年,预估2020年
,年营收将达到100亿元欧元,每股纯益更将三倍成长。
艾司摩尔稍早在台北国际半导体展(SEMICON Taiwan)中宣布,已接获包括台积电、三星
及英特尔等重量级半导体厂11台EUV 订单,其中有五台将于今年底到明年第1季出货完毕
,其中台积电就率先下单二台第一代命名为NXE3300B的EUV机台,装设在新竹进行研发。
艾司摩尔今日宣布更具成本效益的新一代EUV机量NXE3350B量产,而且台积电也是一只气
订购二台,预定明年第1季交货。ASML也承诺将协助台积电将原二台NXE3300B EUV系统升
级到NXE3350B。