[请益] 黄光,微影制程的书籍?

楼主: sheldor (秀登)   2013-07-08 20:19:15
最近要接触到这块领域
希望大家可以推荐...
希望:
1.越详细越好,针对黄光段...如果对光阻显影的机制 各家光阻品牌分析介绍
等资料更好
2.中 英文的书籍 ,两者都需要
3.或者有板上高手, 用不上的书. 便宜出售给小弟也行.....
4.或者交个朋友, 一起互相研究!( 我有skype)
毕竟这种东西很无聊,又不得不学... 有人一起当聊天一样讨论
是很不错的....我们也可以交换技能( 吉他, 电影...等XD)
目前身上有一本 好多年以前的 半导体微影技术
龙文安写的
看起来是很详细, 不过时代久远
不知道值不值得再去买新版?
谢谢
作者: hedonist   2013-07-08 20:27:00
不用买新的 新的我有 浪费1200元
作者: tweens (C Y)   2013-07-08 22:08:00
公司都有讲义阿,多到看不完。
作者: sc1 (sc1)   2013-07-10 01:30:00
爱肝

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