请问台积电
奈米扩散工程部的主要内容是?
听朋友说是"恶灵古堡"
真的有这么悲惨吗 = =
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:19:00
扩散就一堆炉管, 有沉积管有高温管, 离子布植机
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:20:00
设备最多温度最高的就是扩散区阿...
还有洗pod 洗cassette 吹N2 量厚度 量RS 杂到爆炸
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:28:00
扩散设备很常发生不知道原因的异常, 高温有到1200以上
作者:
FK6819 (恨情人)
2012-02-07 00:30:00恶灵古堡是指 N20
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:30:00
温控差个10几度就红灯了...因为高温设备也要常保养一根管子里头就有好几根管要洗...算是满累的
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:32:00
炉管就分低压沉积...高温长薄膜....退火....驱入
作者:
SON118 (SON118)
2012-02-07 00:35:00NO NEED
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:36:00
制程不太需要啦...处理异常...改机台程式...盯run货
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:37:00
但是扩散制程异常因素真的是比较多...要经验累积
作者:
CHEN688 (CHEN)
2012-02-07 00:40:00制程比设备爽一点点无误
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:41:00
版上大家都说设备怎样...但是强的设备加上经验满威的
作者:
melzard (如理实见)
2012-02-07 01:23:00你居然认为不操...
作者: knowlife 2012-02-07 03:02:00
跟黄光和蚀刻比 算爽的
作者:
TANK123 (布鲁托)
2012-02-07 09:44:0020制程问题一堆，请你安心上路吧!!!
扩散也觉得操的话 就不用进来了 那蚀刻 黄光怎办?
作者: iversonthree 2012-02-07 09:48:00
N20一级战场
作者:
QQ5566 (哭哭5566)
2012-02-07 09:57:00恶灵古堡 士林夜市 还有吗
作者:
piglauhk (肥胖宅 (￣﹁￣))
2012-02-07 10:50:00BTW LED都出来那么久了 现在的黄光区还是黄的吗?
作者:
osbsd1 (封棋-勿找)
2012-02-07 20:54:00.....恶灵古堡 慎入
作者:
osbsd1 (封棋-勿找)
2012-02-07 20:57:00N20现在不论黄光蚀刻扩散CVDEPI 都一样惨 程度差别而已
想爽就别来...这么简单的道理都不懂...书白唸了